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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利冷却气体管路的控制方法、工艺腔室及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114300381B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111387161.7，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权冷却气体管路的控制方法、工艺腔室及半导体工艺设备是由侯朋飞;刘卓远设计研发完成，并于2021-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本冷却气体管路的控制方法、工艺腔室及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种冷却气体管路的控制方法、工艺腔室及半导体工艺设备。该方法包括：在使用工艺腔室进行连续工艺过程中，保持干泵、第一阀门、第三阀门和第四阀门处于开启状态，同时主管路通入冷却气体，控制压力控制器按照设定压力进行控压，当需要对晶圆进行静电吸附时，执行以下步骤：步骤S1：控制静电卡盘对晶圆进行静电吸附；步骤S2：打开第二阀门；步骤S3：控制压力控制器按照设定压力进行控压，使部分冷却气体经第一支管路流入静电卡盘，以对晶圆进行冷却。本发明可以缩短晶圆吸附过程的时间，并降低长时间连续工艺过程中晶圆吸附发生晶圆偏移的概率。

本发明授权冷却气体管路的控制方法、工艺腔室及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺腔室冷却气体管路的控制方法，所述冷却气体管路包括主管路、第一支管路、第二支管路和第三支管路，所述第一支管路的一端连通所述主管路，另一端连通工艺腔室内的静电卡盘，所述第二支管路的一端连通所述主管路，另一端连通干泵，所述主管路上设有第一阀门和压力控制器，所述第一支管路上设有第二阀门、所述第二支管路上依次设有第三阀门和第四阀门，所述第三支管路的一端在所述静电卡盘和所述第二阀门之间与所述第一支管路连通，所述第三支管路的另一端在所述干泵和所述第四阀门之间与所述第二支管路连通，所述第三支管路上设有第五阀门，其特征在于，所述方法包括： 步骤S0，在所述工艺腔室进行连续工艺过程中，保持所述干泵、所述第一阀门、所述第三阀门和所述第四阀门处于开启状态，同时向所述主管路通入冷却气体，控制所述压力控制器按照设定压力进行控压，当需要对晶圆进行静电吸附时，执行以下步骤： 步骤S1：控制所述静电卡盘对晶圆进行静电吸附； 步骤S2：打开所述第二阀门，同时，保持第一阀门、第三阀门和第四阀门处于打开状态； 步骤S3：控制所述压力控制器按照所述设定压力进行控压，使部分冷却气体经所述第一支管路流入所述静电卡盘，以对所述晶圆进行冷却。

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