吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司蒋涵融获国家专利权
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龙图腾网获悉吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司申请的专利一种卡盘机构及晶圆处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224022233U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520531116.1，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型一种卡盘机构及晶圆处理设备是由蒋涵融设计研发完成，并于2025-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种卡盘机构及晶圆处理设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种卡盘机构及晶圆处理设备。该卡盘机构包括：承载盘，可受控地绕自身轴线旋转；多个定位柱，均设置在承载盘上，且沿承载盘的周向间隔布设，各个定位柱共同围合形成一用于收容晶圆的限位空间；夹持组件，安装在承载盘上，且具有沿承载盘的周向间隔布设的多个夹持部，夹持组件被构造为可受控地在夹持状态与松开状态之间切换；当夹持组件处于夹持状态时，各个夹持部朝向限位空间内收拢，并与位于限位空间的晶圆的周缘抵接；当夹持组件处于松开状态时，各个夹持部朝向所述限位空间外外扩，并与位于限位空间的晶圆的周缘分离。
本实用新型一种卡盘机构及晶圆处理设备在权利要求书中公布了：1.一种卡盘机构，其特征在于，包括： 承载盘10，可受控地绕自身轴线旋转； 多个定位柱20，均设置在所述承载盘10上，且沿所述承载盘10的周向间隔布设，各个所述定位柱20共同围合形成一用于收容晶圆的限位空间A； 夹持组件，安装在所述承载盘10上，且具有沿所述承载盘10的周向间隔布设的多个夹持部35，所述夹持组件被构造为可受控地在夹持状态与松开状态之间切换； 当所述夹持组件处于所述夹持状态时，各个所述夹持部35朝向所述限位空间A内收拢，并与位于所述限位空间A的晶圆的周缘抵接；当夹持组件处于所述松开状态时，各个所述夹持部35朝向所述限位空间A外外扩，并与位于所述限位空间A的晶圆的周缘分离。
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