金动力智能科技(深圳)有限公司夏欢获国家专利权
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龙图腾网获悉金动力智能科技(深圳)有限公司申请的专利一种顶针模组获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224022230U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520305475.5,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型一种顶针模组是由夏欢;张勇设计研发完成,并于2025-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种顶针模组在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种顶针模组,包括壳体、直线轴承、顶针、驱动件和真空泵。壳体包括第一通道、第二通道、通气口、吸附口和穿刺口,第一通道嵌套于第二通道内,通气口和吸附口均与第二通道连通,穿刺口与第一通道连通。直线轴承设置于第一通道内。顶针滑动设置于直线轴承内。驱动件设置于壳体内并与顶针间隔设置,用以驱动顶针沿直线往复运动。真空泵通过第一通道与吸附口连通。由于第一通道和第二通道分别独立设置,从而使得第二通道内的气压不会受到顶针的影响,且通过环状设置的第二通道控制吸附蓝膜的区域,进一步提升顶针模组吸附蓝膜的效果;设置直线轴承有利于提高顶针在滑动过程中的精度,从而能够进一步提高顶针顶出晶圆的准确度。
本实用新型一种顶针模组在权利要求书中公布了:1.一种顶针模组,用于将晶圆从蓝膜上顶出,其特征在于,包括: 壳体,包括第一通道、第二通道、通气口、吸附口和穿刺口,所述第一通道嵌套于所述第二通道内,所述通气口和所述吸附口均与所述第二通道连通,所述穿刺口与所述第一通道连通; 直线轴承,设置于所述第一通道内; 顶针,滑动设置于所述直线轴承内; 驱动件,设置于所述壳体内并与所述顶针间隔设置,用以驱动所述顶针沿直线往复运动; 真空泵,通过所述第一通道与所述吸附口连通。
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