创微微电子(常州)有限公司左国军获国家专利权
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龙图腾网获悉创微微电子(常州)有限公司申请的专利兼容式晶圆翻转夹持系统夹具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224022228U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520114777.4，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型兼容式晶圆翻转夹持系统夹具是由左国军;蔡嘉雄;孙伟;杨毅来设计研发完成，并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本兼容式晶圆翻转夹持系统夹具在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体生产设备技术领域，具体涉及一种兼容式晶圆翻转夹持系统夹具，本夹具包括：检测器，设置在固定板上，且检测晶圆放置位是否存放晶圆；夹持机构，包括驱动装置，由驱动装置驱动的且上下设置的一对夹持台阶；其中两夹持台阶的近端设置在固定板上，远端设置有一对晶圆夹持臂；以及，控制模块，与驱动装置和检测器电性连接，且被配置为接收检测器的晶圆存放信号后，控制驱动装置驱动两夹持台阶带动晶圆夹持臂合拢以夹持晶圆。
本实用新型兼容式晶圆翻转夹持系统夹具在权利要求书中公布了：1.一种兼容式晶圆翻转夹持系统夹具，其特征在于，包括： 检测器10，设置在固定板1上，且检测晶圆放置位12是否存放晶圆3； 夹持机构2，包括驱动装置，由驱动装置驱动的且上下设置的上夹持台阶200和下夹持台阶210；其中 上夹持台阶200和下夹持台阶210的近端设置在固定板1上，远端分别设置有上方晶圆夹持臂20和下方晶圆夹持臂21；以及， 控制模块，与驱动装置和检测器10电性连接，且被配置为接收检测器10的晶圆3存放信号后，控制驱动装置驱动上夹持台阶200和下夹持台阶210带动上方晶圆夹持臂20和下方晶圆夹持臂21合拢以夹持晶圆3。
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