北京北方华创微电子装备有限公司崔爱林获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利供风装置和半导体清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224022203U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520433088.X，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型供风装置和半导体清洗设备是由崔爱林;陈超;单思设计研发完成，并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本供风装置和半导体清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种供风装置和半导体清洗设备，所述供风装置包括风机模块和加热模块；所述风机模块与所述加热模块叠置，且所述加热模块位于所述风机模块的出风侧，所述加热模块包括第一加热组件，所述第一加热组件包括多个环形加热件，多个所述环形加热件依次套设，且相邻的两个所述环形加热件之间具有过风间隙，在所述供风装置安装在所述腔室本体的顶部的情况下，所述环形加热件位于所述风机模块的朝向所述晶圆支撑座的一侧，所述环形加热件的中心轴线与所述晶圆支撑座的中心轴线重合。上述方案可以解决相关技术中的半导体清洗设备在对晶圆进行干燥时晶圆存在温度均匀性较差的问题。
本实用新型供风装置和半导体清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种供风装置，用于安装在半导体清洗设备的腔室本体100的顶部，且与位于所述腔室本体100内的晶圆支撑座200相对，其特征在于，所述供风装置300包括风机模块310和加热模块320； 所述风机模块310与所述加热模块320叠置，且所述加热模块320位于所述风机模块310的出风侧，所述加热模块320包括第一加热组件321，所述第一加热组件321包括多个环形加热件321a，多个所述环形加热件321a依次套设，且相邻的两个所述环形加热件321a之间具有过风间隙，所述环形加热件321a位于所述风机模块310的朝向所述晶圆支撑座200的一侧，所述环形加热件321a的中心轴线与所述晶圆支撑座200的中心轴线重合。
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