佛山齐诺芯科技有限公司吴波获国家专利权
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龙图腾网获悉佛山齐诺芯科技有限公司申请的专利一种半导体器件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224022200U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423323710.6，技术领域涉及：H10N30/88；该实用新型一种半导体器件是由吴波设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体器件在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种半导体器件，包括：沿第一方向层依次叠设置的基底层、绝缘层和功能层，所述绝缘层内部具有空腔，所述功能层包括弹性层和压电组件，所述弹性层为硅材料，所述压电组件包括沿所述第一方向依次层叠设置的底电极、压电层和顶电极；所述功能层形成梁结构，所述梁结构延伸到所述空腔的上方，所述弹性层包括位于所述梁结构的悬空部，所述底电极和所述顶电极中的至少一者包括位于所述梁结构的辅助结构；所述辅助结构包括汇流段和连接于所述汇流段的至少两个分支段，所述汇流段和所述分支段均设置于所述悬空部，且各所述分支段相互间隔排布。本实用新型用以至少解决谐振器不能调频的技术问题。
本实用新型一种半导体器件在权利要求书中公布了：1.一种半导体器件，其特征在于，包括：沿第一方向层依次叠设置的基底层10、绝缘层20和功能层，所述绝缘层20内部具有空腔21，所述功能层包括弹性层30和压电组件，所述弹性层30为硅材料，所述压电组件包括沿所述第一方向依次层叠设置的底电极40、压电层50和顶电极60； 所述功能层形成梁结构70，所述梁结构70延伸到所述空腔21的上方，所述弹性层30包括位于所述梁结构70的悬空部31，所述底电极40和所述顶电极60中的至少一者包括位于所述梁结构70的辅助结构； 所述辅助结构包括汇流段41和连接于所述汇流段41的至少两个分支段42，所述汇流段41和所述分支段42均设置于所述悬空部31，且各所述分支段42相互间隔排布，所述辅助结构被配置为在电信号的作用下提高所述压电组件的静电力，以使所述压电组件驱动所述梁结构70振动。
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