泰科天润半导体科技(北京)有限公司何佳获国家专利权
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龙图腾网获悉泰科天润半导体科技(北京)有限公司申请的专利一种半超结高可靠平面栅碳化硅VDMOS获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224022145U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520517389.0,技术领域涉及:H10D30/66;该实用新型一种半超结高可靠平面栅碳化硅VDMOS是由何佳;陈彤;周海;胡臻设计研发完成,并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半超结高可靠平面栅碳化硅VDMOS在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种半超结高可靠平面栅碳化硅VDMOS,包括:漂移层连接至碳化硅衬底;漂移层内设有柱区,柱区连接至碳化硅衬底,漂移层上设有凸起部;第一P型阱区连接至漂移层,第一P型阱区内侧面连接至凸起部外侧面;第一P型阱区上设有第二P型阱区,第二P型阱区上设有N型源区,N型源区内侧面连接至第一P型阱区;肖特基区连接至漂移层,肖特基区内侧面分别连接第一P型阱区以及第二P型阱区;栅极介质层下侧面分别连接N型源区以及第一P型阱区;栅极金属层连接至栅极介质层;源极金属层分别连接肖特基区、第二P型阱区以及N型源区;漏极金属层连接至碳化硅衬底下侧面,在反向耐压时能提供双重保护,从而提高器件的可靠性。
本实用新型一种半超结高可靠平面栅碳化硅VDMOS在权利要求书中公布了:1.一种半超结高可靠平面栅碳化硅VDMOS,其特征在于:包括: 碳化硅衬底; 漂移层,所述漂移层下侧面连接至所述碳化硅衬底上侧面;所述漂移层内设有柱区,所述柱区下侧面连接至所述碳化硅衬底,所述漂移层上设有凸起部; 第一P型阱区,所述第一P型阱区下侧面连接至所述漂移层上侧面,所述第一P型阱区内侧面连接至所述凸起部外侧面;所述第一P型阱区上设有第二P型阱区,所述第二P型阱区上设有N型源区,所述N型源区内侧面连接至所述第一P型阱区; 肖特基区,所述肖特基区下侧面连接至所述漂移层上侧面,所述肖特基区内侧面分别连接所述第一P型阱区以及第二P型阱区; 栅极介质层,所述栅极介质层下侧面分别连接所述N型源区以及第一P型阱区; 栅极金属层,所述栅极金属层连接至所述栅极介质层; 源极金属层,所述源极金属层分别连接所述肖特基区、第二P型阱区以及N型源区; 以及,漏极金属层,所述漏极金属层连接至所述碳化硅衬底下侧面。
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