深圳市鑫亿晶科技有限公司周旦兴获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鑫亿晶科技有限公司申请的专利立式晶片旋转腐蚀机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224021703U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202620127389.4，技术领域涉及：H03H3/02；该实用新型立式晶片旋转腐蚀机构是由周旦兴设计研发完成，并于2026-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本立式晶片旋转腐蚀机构在说明书摘要公布了：本实用新型实施例公开了一种立式晶片旋转腐蚀机构，包括电机、转轴、转筒、转筒固定件，电机的输出轴连接转轴，转筒通过转筒固定件固定于转轴上，转筒上设有夹具以及快拆块，夹具上设有若干用于放置晶片的放置槽，快拆块用于压紧放置槽内的晶片，放置槽内的晶片与转筒旋转切线方向呈预设角度的夹角。本实用新型利用斜向旋转产生的科氏力效应，使腐蚀液在晶片表面形成微湍流，既破坏了停滞的边界层，又将法向冲击力分解为切向分力，提升3215晶片产能与良率。
本实用新型立式晶片旋转腐蚀机构在权利要求书中公布了：1.一种立式晶片旋转腐蚀机构，其特征在于，包括电机、转轴、转筒、转筒固定件，电机的输出轴连接转轴，转筒通过转筒固定件固定于转轴上，转筒上设有夹具以及快拆块，夹具上设有若干用于放置晶片的放置槽，快拆块用于压紧放置槽内的晶片，放置槽内的晶片与转筒旋转切线方向呈预设角度的夹角。
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