安徽晶微科技有限公司杨海洋获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽晶微科技有限公司申请的专利清洗装置及芯片制备系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224020153U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520678998.4，技术领域涉及：G03F7/42；该实用新型清洗装置及芯片制备系统是由杨海洋设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗装置及芯片制备系统在说明书摘要公布了：本申请公开一种清洗装置，包括清洗箱、旋转机构、载台、喷淋机构以及进出气机构。旋转机构包括驱动组件及调节组件，驱动组件与调节组件连接；载台设置于清洗箱内，且与调节组件连接；调节组件能够调节载台相对水平方向的倾斜角度；喷淋机构包括供液组件及喷淋组件，喷淋组件设置于清洗箱内，且喷淋组件远离供液组件的一端延伸至载台的上方。采用上述的清洗装置，操作人员将待清洗晶圆放置在载台上，然后先通过进出气机构将清洗箱内的气体置换，随后根据需求调节载台的倾斜角度。接下来驱动组件驱动载台带动晶圆转动，同时喷淋组件朝载台上的晶圆喷射清洗液，从而将晶圆上的光刻胶清晰去除。本申请还公开一种芯片制备系统。
本实用新型清洗装置及芯片制备系统在权利要求书中公布了：1.一种清洗装置，其特征在于，包括： 清洗箱； 旋转机构，包括驱动组件及调节组件，所述驱动组件设置于所述清洗箱，且与所述调节组件连接，以驱动所述调节组件绕竖直方向的轴线转动； 载台，设置于所述清洗箱内，且与所述调节组件连接；所述调节组件能够调节所述载台相对水平方向的倾斜角度； 喷淋机构，包括供液组件及喷淋组件，所述供液组件与所述喷淋组件连接，所述喷淋组件设置于所述清洗箱内，且所述喷淋组件远离所述供液组件的一端延伸至所述载台的上方； 进出气机构，设置于所述清洗箱，能够对所述清洗箱内的气体进行置换。
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