东京毅力科创株式会社后藤浩文获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利显影装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224020152U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520549247.2，技术领域涉及：G03F7/30；该实用新型显影装置是由后藤浩文;原克弥设计研发完成，并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本显影装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种显影装置，能够提高显影装置的便利性。显影装置具备：第一喷嘴，其具备以连续了覆盖基板的宽度的长度的方式在横向上伸长的第一喷出口；移动机构，其在从第一喷出口喷出显影液的期间设为使第一喷嘴在与第一喷出口的伸长方向交叉的方向上移动的第一状态；第一液体接触面，其形成第一喷出口的口缘部，在第一状态下与基板上的显影液的液膜接触；第二喷嘴，其具备形成为在第一喷出口的伸长方向上的长度比第一喷出口的该长度短的第二喷出口；旋转机构，其使基板旋转以在从第二喷出口喷出显影液的期间成为基板旋转的第二状态；第二液体接触面，其形成第二喷出口的口缘部，在第二状态下与基板上的显影液的液膜接触。
本实用新型显影装置在权利要求书中公布了：1.一种显影装置，其特征在于，具备： 保持部，其保持基板； 第一喷嘴，其具备显影液的第一喷出口，所述第一喷出口以连续了覆盖所述基板的宽度的长度的方式在横向上伸长； 移动机构，在从所述第一喷出口向所述基板喷出所述显影液的期间，所述移动机构设为使所述第一喷嘴在与所述第一喷出口的伸长方向交叉的方向上移动的第一状态； 第一液体接触面，其形成所述第一喷出口的口缘部，在所述第一状态下与形成于所述基板上的所述显影液的液膜接触； 第二喷嘴，其具备显影液的第二喷出口，所述第二喷出口形成为在所述第一喷出口的伸长方向上的长度比该第一喷出口在该伸长方向上的长度短； 旋转机构，其使所述保持部旋转以在从所述第二喷出口向所述基板喷出所述显影液的期间成为所述基板旋转的第二状态；以及 第二液体接触面，其形成所述第二喷出口的口缘部，在所述第二状态下与形成于所述基板上的所述显影液的液膜接触。
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