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龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利用于无掩模板直写光刻曝光机的吸盘电势监控系统及直写光刻曝光机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224020147U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520419485.1，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型用于无掩模板直写光刻曝光机的吸盘电势监控系统及直写光刻曝光机是由葛星雨;朱会敏;曹桂林;卢小齐;孙文彪设计研发完成，并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于无掩模板直写光刻曝光机的吸盘电势监控系统及直写光刻曝光机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于无掩模板直写光刻曝光机的吸盘电势监控系统及直写光刻曝光机，该系统包括：吸盘装置、电势传感器、开关组件、离子发生器和控制器，其中，控制器用于通过发送吸真空指令或破真空指令来控制开关组件的通断状态，以控制风道的气流方向，进而控制吸盘装置进入吸真空状态或破真空状态，以实现对板材的吸附或分离功能，并接收电势传感器发送的电势差，以在吸盘装置进入破真空状态且电势差超过预存的标定值时，向离子发生器发出开启放电指令，以使离子发生器开启放电，从而向风道中的破真空气流中注入离子。本实用新型可以有效地消除吸盘装置与板材之间因摩擦而产生的电荷积累，避免静电对机台上电子器件的损害。

本实用新型用于无掩模板直写光刻曝光机的吸盘电势监控系统及直写光刻曝光机在权利要求书中公布了：1.一种用于无掩模板直写光刻曝光机的吸盘电势监控系统，其特征在于，包括： 吸盘装置，用于承载待加工的板材，所述吸盘装置设置有风道； 电势传感器，设置于所述吸盘装置上，用于监测所述吸盘装置与所述板材之间的电势差； 开关组件，设置于所述吸盘装置的风道上； 离子发生器，设置于所述吸盘装置的风道上，且与所述开关组件串联连接； 控制器，所述控制器分别与所述电势传感器、所述开关组件和所述离子发生器连接，用于通过发送吸真空指令或破真空指令来控制所述开关组件的通断状态，以控制所述风道的气流方向，进而控制所述吸盘装置进入吸真空状态或破真空状态，以实现对所述板材的吸附或分离功能，并接收所述电势传感器发送的当前监测到的所述电势差，以在所述吸盘装置进入所述破真空状态且所述电势差超过预存的标定值时，向所述离子发生器发出开启放电指令，以使所述离子发生器开启放电，从而向所述风道中的破真空气流中注入离子使之变成可中和累积电荷的离子风。

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