开辉半导体设备(深圳)有限公司贺开慧获国家专利权
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龙图腾网获悉开辉半导体设备(深圳)有限公司申请的专利探针盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224019879U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520084216.4，技术领域涉及：G01R1/073；该实用新型探针盘是由贺开慧;谢谦;陈伟;陈自豪;吕杰融;谢灿设计研发完成，并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本探针盘在说明书摘要公布了：本申请提供了一种探针盘。其包括盘体，在盘体的底面周侧围设有密封件，密封件用于盘体在靠近晶片时与晶片上表面围合形成检测区域；在盘体上、位于密封件的内侧阵列设置有贯穿的探针孔，探针孔用于供探针穿过；在盘体底面、位于探针孔区域的周侧设置有进气孔，进气孔用于连通气源以对检测区域释放保护气体；在盘体底面、位于探针孔区域的中心区域设置有出气孔，出气孔用于将检测区域的空气排出。本申请提供的探针盘，能够使得检测区域内的空气能够尽可能排干净，以尽可能避免空气打火放电的情况出现，从而提高晶片加压测流的准确性。
本实用新型探针盘在权利要求书中公布了：1.一种探针盘，其特征在于，包括； 盘体，在所述盘体的底面周侧围设有密封件，所述密封件用于所述盘体在靠近晶片时与所述晶片上表面围合形成检测区域； 在所述盘体上、位于所述密封件的内侧阵列设置有贯穿的探针孔，所述探针孔用于供探针穿过；在所述盘体底面、位于所述探针孔区域的周侧设置有进气孔，所述进气孔用于连通气源以对所述检测区域释放保护气体；在所述盘体底面、位于所述探针孔区域的中心区域设置有出气孔，所述出气孔用于将所述检测区域的空气排出。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人开辉半导体设备(深圳)有限公司，其通讯地址为：518110 广东省深圳市龙华区大浪街道赖屋山社区宝山新村一区20号102；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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