东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司李帅辰获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利探测器及半导体检测设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224019689U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520389139.3,技术领域涉及:G01N23/22;该实用新型探测器及半导体检测设备是由李帅辰;赵文成设计研发完成,并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本探测器及半导体检测设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种探测器及半导体检测设备。探测器包括多个光导构件,用于传输光信号,所述光导构件相互独立设置,每个所述光导构件具有入光区域与出光区域,各所述入光区域朝向相同且位于同一平面上;所述光信号由所述入光区域入射至所述光导构件的内部并传输至所述出光区域射出;多个闪烁体,每个所述入光区域处设有一个所述闪烁体,所述闪烁体用于将电子信号转换为光信号。本申请提供的探测器及半导体检测设备,能够获取晶圆表面的三维图像,以更好地对晶圆进行深入分析。
本实用新型探测器及半导体检测设备在权利要求书中公布了:1.一种探测器,其特征在于,所述探测器包括: 多个光导构件1,用于传输光信号,多个所述光导构件1相互独立设置,每个所述光导构件1具有入光区域111与出光区域112,各所述入光区域111朝向相同且位于同一平面上;所述光信号由所述入光区域入射至所述光导构件的内部并传输至所述出光区域射出; 多个闪烁体2,每个所述入光区域111处设有一个所述闪烁体2,所述闪烁体2用于将电子信号转换为光信号。
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