深圳市重投天科半导体有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司刘倩获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市重投天科半导体有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司申请的专利碳化硅外延片的缺陷目检装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224019674U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520533466.1，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型碳化硅外延片的缺陷目检装置是由刘倩;眭旭;张博;郭钰;李雨鑫;彭同华;刘春俊;彭勇;曾江;杨建设计研发完成，并于2025-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本碳化硅外延片的缺陷目检装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种碳化硅外延片的缺陷目检装置，包括：用于放置晶片并带动晶片旋转的载片台；用于固定晶片的放置位置的定位部件，定位部件设置在载片台的台面上；用于安装测试部件并带动测试部件旋转的旋转部件，旋转部件设置在载片台的背面；测试部件为晶片缺陷检测所需的参照物；用于安装载片台的固定支架，固定支架上还安装有照明部件，且照明部件的安装位置位于载片台的上方。该缺陷目检装置利用定位部件实现晶片在载片台上的准确定位，消除晶片在载片台上的放置位置的偏差，以辅助用户精确观察晶片上的缺陷，并能够根据检测需求改变晶片的位置或者测试路径的形状，保证晶片的位置能够避免检测到缺陷，从而有效提高缺陷目检的精度。
本实用新型碳化硅外延片的缺陷目检装置在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅外延片的缺陷目检装置，其特征在于，包括： 用于放置晶片并带动所述晶片旋转的载片台； 用于固定所述晶片的放置位置的定位部件，所述定位部件设置在所述载片台的台面上； 用于安装测试部件并带动所述测试部件旋转的旋转部件，所述旋转部件设置在所述载片台的背面；所述测试部件为晶片缺陷检测所需的参照物； 用于安装所述载片台的固定支架，所述固定支架上还安装有照明部件，且所述照明部件的安装位置位于所述载片台的上方。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市重投天科半导体有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司，其通讯地址为：518100 广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区石奔路6号深圳市重投天科半导体有限公司1栋办公楼1层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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