中锃半导体(深圳)有限公司谭志明获国家专利权
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龙图腾网获悉中锃半导体(深圳)有限公司申请的专利一种半导体加工设备及管道密封结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224017891U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520939123.5，技术领域涉及：F16L5/14；该实用新型一种半导体加工设备及管道密封结构是由谭志明;苏亮设计研发完成，并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体加工设备及管道密封结构在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体加工设备技术领域，具体涉及一种半导体加工设备及管道密封结构。由于管道密封结构的密封座可拆卸装在安装法兰的一侧，密封座的密封座孔中具有密封圈支撑面，压紧件与密封座可拆卸连接，并且压紧件的压紧套将管道密封圈压紧在密封圈支撑面上，在压紧件的压紧作用下，管道密封圈与管道挤紧，实现管道与密封座的固定。也就是说，上述实施例中的管道密封圈在密封管道的同时，还起到对管道固定的作用。在维护管道时，可以将压紧件和密封座从安装法兰上拆下，维护更加方便，改善了目前半导体加工设备中管道维护不方便的问题。
本实用新型一种半导体加工设备及管道密封结构在权利要求书中公布了：1.一种管道密封结构，用于半导体加工设备，其特征在于，所述管道密封结构包括： 管道； 安装法兰，所述安装法兰具有供所述管道穿过的法兰孔； 密封座，所述密封座可拆卸密封安装在所述安装法兰的一侧；所述密封座具有供所述管道穿过的密封座孔； 管道密封圈，所述管道密封圈套在所述管道上；所述密封座孔具有管道密封圈安装段，所述管道密封圈安装段具有密封圈支撑面，所述管道密封圈安装在所述管道密封圈安装段中，所述密封圈支撑面支撑所述管道密封圈； 以及压紧件，所述压紧件与所述密封座或者所述安装法兰可拆卸连接；所述压紧件包括用于插入所述管道密封圈安装段内的压紧套，所述管道穿过所述压紧套；所述压紧套的一端将所述管道密封圈压紧在所述密封圈支撑面上，使所述管道密封圈与所述管道挤紧，实现所述管道与所述密封座固定。
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