上海法安仕半导体科技有限公司邱勇获国家专利权
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龙图腾网获悉上海法安仕半导体科技有限公司申请的专利一种新型半导体控压阀门的顶推机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224017822U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520707186.8,技术领域涉及:F16K31/12;该实用新型一种新型半导体控压阀门的顶推机构是由邱勇设计研发完成,并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型半导体控压阀门的顶推机构在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种新型半导体控压阀门的顶推机构,该顶推机构包括:上壳体,所述上壳体底部安装有下壳体;摆动顶出组件,所述摆动顶出组件安装在上壳体中,所述摆动顶出组件用于阀板的开度调节;进气管,所述进气管安装在下壳体内,且进气管一侧设置有安装在下壳体底侧的出气管;阀板,所述阀板安装在摆动顶出组件顶部。气动滑块底部受到来自气体流动腔高压气体通道的气压顶起,设置的摆动顶出组件,便于从动齿轮带动传动轴循环弧形摆动旋转,在旋转时需要调节阀板轴向位置,实现阀板水平方向自由运动,调节阀板的开度,达到控制设备腔体的压力,满足芯片加工工艺要求,便于生产装配,运动更平稳产品结构更简单,便于生产,成本低。
本实用新型一种新型半导体控压阀门的顶推机构在权利要求书中公布了:1.一种新型半导体控压阀门的顶推机构,其特征在于,所述新型半导体控压阀门的顶推机构包括: 上壳体1,所述上壳体1底部安装有下壳体2; 摆动顶出组件,所述摆动顶出组件安装在上壳体1中,所述摆动顶出组件用于阀板10的开度调节; 进气管12,所述进气管12安装在下壳体2内,且进气管12一侧设置有安装在下壳体2底侧的出气管13; 阀板10,所述阀板10安装在摆动顶出组件顶部。
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