江苏永鼎股份有限公司路庆海获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏永鼎股份有限公司申请的专利一种晶圆氧化高温扩散炉管获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224015822U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520233507.5，技术领域涉及：C30B31/06；该实用新型一种晶圆氧化高温扩散炉管是由路庆海;李晶;张金胜;顾志强设计研发完成，并于2025-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆氧化高温扩散炉管在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆氧化高温扩散炉管，本实用新型涉及晶圆技术领域，包括炉管本体，所述炉管本体一端的一侧设置有控制箱，所述炉管本体一端的中心贯穿设置有进料箱，所述进料箱的上端安装有第一封闭板，所述进料箱的一侧安装有连接板，所述控制箱一端的另一侧安装有安装板，所述安装板的一端设置有电动推杆；所述炉管本体内部靠近上端的位置安装有升降板；本实用新型的优点在于：使晶圆氧化高温扩散炉管可以对炉管本体内部放置的晶圆进行压平，并且可以使气体可以从两侧和中心与晶圆接触，提高了晶圆的氧化扩散效率，使晶圆氧化高温扩散炉管可以将氧化扩散完毕后的晶圆推出，方便进行收集。
本实用新型一种晶圆氧化高温扩散炉管在权利要求书中公布了：1.一种晶圆氧化高温扩散炉管，包括炉管本体1，其特征在于：所述炉管本体1一端的一侧设置有控制箱2，所述炉管本体1一端的中心贯穿设置有进料箱3，所述进料箱3的上端安装有第一封闭板4，所述进料箱3的一侧安装有连接板5，所述控制箱2一端的另一侧安装有安装板6，所述安装板6的一端设置有电动推杆7； 所述炉管本体1内部靠近上端的位置安装有升降板8，所述升降板8上端的一侧安装有第一滑杆9，所述升降板8上端的另一侧安装有第一螺杆10，所述炉管本体1上端的一侧分别设置有齿轮筒11和第一步进电机13，所述第一步进电机13的下端安装有齿轮12，所述炉管本体1上端的中心贯穿设置有第一进气管14，所述第一进气管14的一端安装有气体分散器15，所述气体分散器15的两侧均安装有第二进气管16，所述气体分散器15和第二进气管16的下端分别安装有第一出气口17和第二出气口18，所述第一出气口17和第二出气口18的下端均安装有过滤板19。
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