玛奇纳米科技(苏州)有限公司瞿昊获国家专利权
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龙图腾网获悉玛奇纳米科技(苏州)有限公司申请的专利一种CVD镀膜蒸发控制装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224015775U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520638240.8,技术领域涉及:C23C16/52;该实用新型一种CVD镀膜蒸发控制装置是由瞿昊;顾晓雷;王嘉玲设计研发完成,并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CVD镀膜蒸发控制装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及CVD镀膜技术领域,尤其涉及一种CVD镀膜蒸发控制装置,包括蒸发仓,所述蒸发仓正面通过合页活动连接有密封门,所述蒸发仓顶部嵌设并固定安装有连通管一,所述连通管一底端延伸至所述蒸发仓内部并固定贯通有软管,所述软管底部固定有连通管二,所述连通管二底部固定有暂存仓,所述蒸发仓内腔底部固定连接有载物座;所述蒸发仓内设置有用于驱动所述连通管二在水平和竖直方向上移动的驱动结构。本实用新型通过驱动结构的设置,相比于现有技术中的镀膜蒸发控制装置,当材料被均匀地喷洒在不同位置时,镀膜的均匀度得到了提高,避免了因喷洒不均而导致的膜层厚度差异等问题,提高了生产效率和产品质量。
本实用新型一种CVD镀膜蒸发控制装置在权利要求书中公布了:1.一种CVD镀膜蒸发控制装置,包括蒸发仓1,其特征在于,所述蒸发仓1正面通过合页活动连接有密封门2,所述蒸发仓1顶部嵌设并固定安装有连通管一3,所述连通管一3底端延伸至所述蒸发仓1内部并固定贯通有软管4,所述软管4底部固定有连通管二5,所述连通管二5底部固定有暂存仓6,所述蒸发仓1内腔底部固定连接有载物座7; 所述蒸发仓1内设置有用于驱动所述连通管二5在水平和竖直方向上移动的驱动结构。
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