玛奇纳米科技(苏州)有限公司顾晓雷获国家专利权
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龙图腾网获悉玛奇纳米科技(苏州)有限公司申请的专利一种化学气相沉积的加热控制装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224015774U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520638239.5,技术领域涉及:C23C16/52;该实用新型一种化学气相沉积的加热控制装置是由顾晓雷;瞿昊;王嘉玲设计研发完成,并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学气相沉积的加热控制装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及化学气相沉积技术领域,尤其涉及一种化学气相沉积的加热控制装置,包括蒸发室、裂解室、镀膜腔室及真空系统,裂解室与镀膜腔室之间连接有用以对气体进行降温的箱体,箱体内固定安装有隔板,箱体通过隔板分为降温腔与加湿腔,降温腔内设置有用以对气体进行降温的降温设备,加湿腔内设置有用以对气体进行降温的加湿设备。本实用新型通过在裂解室与镀膜腔室之间设置箱体,并通过箱体能够对进入镀膜腔室内的气体进行降温,进而提升气体的流动速度;通过干冰层与降温管的相互配合能够对气体进行初步降温,而移动板的间歇移动使蒸馏水能够间歇的对气体进行冷却,气体通过棉布能够进行加湿作业,进一步气体加工的效率。
本实用新型一种化学气相沉积的加热控制装置在权利要求书中公布了:1.一种化学气相沉积的加热控制装置,包括蒸发室、裂解室、镀膜腔室及真空系统,其特征在于,所述裂解室与镀膜腔室之间连接有用以对气体进行降温的箱体1,所述箱体1内固定安装有隔板2,所述箱体1通过隔板2分为降温腔与加湿腔,所述降温腔内设置有用以对气体进行降温的降温设备,所述加湿腔内设置有用以对气体进行降温的加湿设备。
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