拉普拉斯新能源科技股份有限公司朱太荣获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利特气管路和镀膜系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224015770U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520641123.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型特气管路和镀膜系统是由朱太荣;易术;刘群设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本特气管路和镀膜系统在说明书摘要公布了：本公开涉及半导体及光伏技术领域，尤其涉及一种特气管路和镀膜系统，以解决特气管路内的颗粒物可能会随着工艺气体进入镀膜腔室，影响镀膜效果的问题。特气管路包括：特气输送管路，特气输送管路的第一端能够与镀膜腔室连通，特气输送管路的第二端能够与气源连通，特气输送管路被配置为向镀膜腔室输送工艺气体；清理管路，清理管路的第一端与特气输送管路连通，清理管路的第二端能够与抽真空设备连通，清理管路被配置为在抽真空设备的辅助下抽取特气输送管路内的气体和特气输送管路内脱落的沉积物，防止特气输送管路内脱落的沉积物掉入镀膜腔室，提高了镀膜效果。
本实用新型特气管路和镀膜系统在权利要求书中公布了：1.一种特气管路，其特征在于，应用于镀膜系统，所述镀膜系统具有镀膜腔室，所述镀膜腔室被配置为为产品镀膜；其中，所述特气管路包括： 特气输送管路，所述特气输送管路的第一端能够与所述镀膜腔室连通，所述特气输送管路的第二端能够与气源连通，所述特气输送管路被配置为向所述镀膜腔室输送工艺气体； 清理管路，所述清理管路的第一端与所述特气输送管路连通，所述清理管路的第二端能够与抽真空设备连通，所述清理管路被配置为在所述抽真空设备的辅助下抽取所述特气输送管路内的气体和所述特气输送管路内脱落的沉积物。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拉普拉斯新能源科技股份有限公司，其通讯地址为：518122 广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励