山东大学陈扬获国家专利权
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龙图腾网获悉山东大学申请的专利一种原子层沉积设备用上料装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224015768U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520396048.2，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种原子层沉积设备用上料装置是由陈扬;夏智兴设计研发完成，并于2025-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种原子层沉积设备用上料装置在说明书摘要公布了：本实用新型提出了一种原子层沉积设备用上料装置，涉及沉积设备结构设计技术领域，包括：反应箱，其内部开设有容纳腔，所述容纳腔底部设置有气体进气管道，所述进气管道贯穿容纳腔底部至所述反应箱外侧；第一温控组件，其设置于容纳腔内壁上，所述温控机构包括第一加热器，所述第一加热器一端贯穿容纳腔内壁至所述反应箱外侧与第一控制阀连接；上料机构，其设置有连接柱，所述连接柱贯穿容纳腔底部，所述连接柱与反应仓滑动连接。本实用新型上料机构通过连接柱贯穿容纳腔底部并与反应仓滑动连接，这种设计使得上料过程更加灵活。能够方便地将待沉积的物料送入容纳腔内，同时也便于在沉积完成后将物料取出。
本实用新型一种原子层沉积设备用上料装置在权利要求书中公布了：1.一种原子层沉积设备用上料装置，其特征在于，包括： 反应箱，其内部开设有容纳腔，所述容纳腔设置有气体进气管道，所述进气管道一端贯穿容纳腔底部至所述反应箱下表面； 第一加热组件，其设置于容纳腔内壁上，所述第一加热组件包括第一加热器，所述第一加热器一端贯穿容纳腔内壁至所述反应箱外侧面与第一控制阀连接； 上料机构，其设置有传动管，所述传动管贯穿容纳腔底部，所述传动管与反应箱滑动连接。
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