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龙图腾网获悉怡通科技有限公司申请的专利一种ITO振膜加工用磁控溅射镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224015755U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520652983.0，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种ITO振膜加工用磁控溅射镀膜设备是由孟凡杰;房臣德设计研发完成，并于2025-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种ITO振膜加工用磁控溅射镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及磁控溅射镀膜技术领域，且公开了一种ITO振膜加工用磁控溅射镀膜设备，包括真空箱，所述真空箱后侧固定连接有延伸框，所述真空箱顶部固定连接有阳极柱本体，所述真空箱底部固定连接有阴极柱本体，所述阴极柱本体上放置有靶材。通过控料机构的设计，新的靶材以及更换后的旧靶材分别在轨道板两侧的两个弧形限位板之间进行堆叠放置，在阴极柱本体上的靶材消耗至需要更换的程度时，通过控制弧形夹板将旧的靶材夹取并放置在轨道板一侧的两个弧形限位板之间后，将轨道板另一侧的新靶材夹取放置在阴极柱本体上，以此实现快速补充换料的功能，相对于人工手动拿取更换而言，更加节省人力。

本实用新型一种ITO振膜加工用磁控溅射镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种ITO振膜加工用磁控溅射镀膜设备，其特征在于：包括真空箱1，所述真空箱1后侧固定连接有延伸框2，所述真空箱1顶部固定连接有阳极柱本体3，所述真空箱1底部固定连接有阴极柱本体4，所述阴极柱本体4上放置有靶材5，所述真空箱1内部设置有控料机构6； 所述控料机构6包括轨道板61，所述轨道板61固定连接于真空箱1内部，所述轨道板61一端与真空箱1内部固定连接，所述轨道板61外部滑动连接有移动块62，所述移动块62顶部转动连接有旋转台63，所述旋转台63顶部固定连接有L形板64，所述L形板64内侧转动连接有螺纹调节杆65，所述螺纹调节杆65一端与旋转台63顶部转动连接，所述L形板64顶部固定连接有第一电机66，所述第一电机66通过输出轴与螺纹调节杆65一端固定连接，所述L形板64内侧滑动连接有升降块67，所述螺纹调节杆65贯穿升降块67并与升降块67通过螺纹连接，所述升降块67一侧设置有矩形框68，所述矩形框68与升降块67之间固定连接有衔接板，所述矩形框68内部滑动连接有两个弧形夹板69，所述矩形框68内部转动连接有双向螺纹杆691，所述双向螺纹杆691依次贯穿两个弧形夹板69并与弧形夹板69通过螺纹连接，所述轨道板61左右两侧均设置有两个弧形限位板692，所述矩形框68外侧固定连接有第二电机693，所述第二电机693通过输出轴与双向螺纹杆691固定连接。

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