怡通科技有限公司孟凡杰获国家专利权
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龙图腾网获悉怡通科技有限公司申请的专利一种ITO膜镀膜厚度可控的磁控溅射镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224015754U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520548980.2，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种ITO膜镀膜厚度可控的磁控溅射镀膜设备是由孟凡杰;房臣德设计研发完成，并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种ITO膜镀膜厚度可控的磁控溅射镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种ITO膜镀膜厚度可控的磁控溅射镀膜设备，涉及镀膜设备技术领域，包括箱体，所述箱体的一侧外壁活动连接有防护门，防护门的一侧外壁开设有观察窗，且防护门的一侧外壁固定连接有把握件，所述箱体的一侧外壁固定连接有负压泵。本实用新型公开的一种ITO膜镀膜厚度可控的磁控溅射镀膜设备可以控制氩气注入时的速率实现对镀膜速率的控制，在相同的时间，可以控制膜体的生长速度，进而实现对膜体厚度的控制，且调节模块在使用时，可以通过控制开关打开加热管道，实现对输送管内部的氩气进行预加热，降低气体流动时的温度梯度，减少湍流对氩气分布均匀性的干扰，提升了装置的镀膜效果。
本实用新型一种ITO膜镀膜厚度可控的磁控溅射镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种ITO膜镀膜厚度可控的磁控溅射镀膜设备，包括箱体1，其特征在于：所述箱体1的一侧外壁活动连接有防护门2，所述防护门2的一侧外壁开设有观察窗3，所述防护门2的一侧外壁固定连接有把握件4，所述箱体1的一侧外壁固定连接有负压泵5，所述负压泵5的输出端设置有连通管6，所述连通管6的输出端与箱体1的内部相连通，所述箱体1的一侧外壁设置有调节模块7。
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