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合肥晶合集成电路股份有限公司桑华煜获国家专利权

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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利LDMOS器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121487303B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610023786.1,技术领域涉及:H10D30/65;该发明授权LDMOS器件及其制备方法是由桑华煜;汪华;程洋;杨宗凯设计研发完成,并于2026-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。

LDMOS器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种LDMOS器件及其制备方法,属于半导体技术领域。LDMOS器件包括第一场板和第二场板;第一场板插入漂移区并贯穿栅氧化层,第一场板包括第一PN结,第一PN结的PN结交界面高于漂移区表面,使得第一PN结在漂移区中仅包括第一类离子,在栅极结构开启状态下,因静电效应导致第一PN结耗尽区边界移动,使得第一PN结在漂移区表面形成一道导电沟道,第一类离子与漂移区的导电类型相反,导电沟道与漂移区的导电类型相同;第二场板位于栅氧化层表面靠近漏区的一端。该LDMOS器件能够在不影响比导通电阻的情况下具有较高的击穿电压。

本发明授权LDMOS器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种LDMOS器件,其特征在于,包括位于半导体衬底上的阱区和漂移区,所述阱区和所述漂移区的导电类型相反,所述阱区内设有源区,所述漂移区内设有漏区,所述阱区和所述漂移区交界处的上表面设置有栅极结构,所述栅极结构包括连接所述阱区和所述漂移区的多晶硅栅极,以及在所述多晶硅栅极和所述漂移区之间的栅氧化层; 所述LDMOS器件还包括:第一场板和第二场板,所述第一场板插入所述漂移区并贯穿所述栅氧化层,所述第一场板包括第一PN结,所述第一PN结的PN结交界面高于所述漂移区表面,使得所述第一PN结在所述漂移区中仅包括第一类离子,在所述栅极结构开启状态下,因静电效应导致所述第一PN结耗尽区边界移动,使得所述第一PN结在所述漂移区表面形成一道导电沟道,所述第一类离子与所述漂移区的导电类型相反,所述导电沟道与所述漂移区的导电类型相同; 所述第二场板位于所述栅氧化层表面靠近所述漏区的一端。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人合肥晶合集成电路股份有限公司,其通讯地址为:230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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