常州铭赛机器人科技股份有限公司杨军福获国家专利权
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龙图腾网获悉常州铭赛机器人科技股份有限公司申请的专利晶圆定位平台、晶圆定位方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121443026B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202512005284.4，技术领域涉及：H10P72/78；该发明授权晶圆定位平台、晶圆定位方法是由杨军福;顾家乐;曲东升;柏锴霖;李长峰;周典虬设计研发完成，并于2025-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆定位平台、晶圆定位方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆定位平台、晶圆定位方法，晶圆定位平台包括升降板、晶圆定位机构和晶圆旋转加热吸附承载台，晶圆定位机构包括多个环设在晶圆旋转加热吸附承载台外周并同步运动的顶爪组件，多个顶爪组件在打开状态下上升至晶圆外侧，顶爪组件从打开状态切换至闭合状态以承载和定位晶圆；顶爪组件将晶圆放置到晶圆旋转加热吸附承载台后顶爪组件继续下降至晶圆下方；晶圆侧面点胶作业完成后，顶爪组件处于打开状态向上抬升晶圆。本发明通过可以沿径向开合的多个顶爪组件来承接和定位晶圆，多个顶爪组件自适应调整晶圆相对晶圆旋转加热吸附承载台的位置，将晶圆放置在晶圆旋转加热吸附承载台上时能够确保晶圆和晶圆旋转加热吸附承载台同心。
本发明授权晶圆定位平台、晶圆定位方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆定位平台，其特征在于，包括晶圆升降定位装置1和晶圆旋转加热吸附承载台2； 所述晶圆升降定位装置1包括： 升降板11，所述升降板11可沿z向运动； 晶圆定位机构12，所述晶圆定位机构12安装在升降板11上，所述晶圆定位机构12包括多个环设在晶圆旋转加热吸附承载台2外周并同步运动的顶爪组件，多个所述顶爪组件沿径向同步活动以在打开状态和闭合状态之间切换； 多个所述顶爪组件在闭合状态下可承载和定位晶圆3，多个所述顶爪组件在打开状态下可承载晶圆3。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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