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博纯(泉州)半导体材料有限公司;博纯材料股份有限公司郑经纬获国家专利权

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龙图腾网获悉博纯(泉州)半导体材料有限公司;博纯材料股份有限公司申请的专利一种电子乙硼烷纯化装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121060448B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511612467.6,技术领域涉及:B01J19/24;该发明授权一种电子乙硼烷纯化装置是由郑经纬;陈国富;陈学胜;胡超群;陈金彬;缪振华;吴超农;林贵函;陈锦祥;林志建;赖国栋设计研发完成,并于2025-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

一种电子乙硼烷纯化装置在说明书摘要公布了:本发明涉及乙硼烷纯化技术领域,且公开了一种电子乙硼烷纯化装置,包括:底座,所述底座的上方连接有反应管,所述反应管的顶部连接有顶盖,所述顶盖的顶部连接有管道,所述管道上设有微流量控制器,所述底座的底部通过连管连接有冷阱设备,所述反应管的外部设有加热组件。本发明能在反应过程中,当反应管破裂时,能自动将反应管封隔,使得泄露的乙硼烷被隔离套封隔,避免乙硼烷泄漏至外界伤害工作人员,通过驱动加热管及弧形板与反应管的分离,使得多个弧形板之间的间隙变大,使得后续在对隔离套内的乙硼烷抽走进行处理时,能使乙硼烷更快的被抽走,提升抽走乙硼烷的速度,提升处理效率。

本发明授权一种电子乙硼烷纯化装置在权利要求书中公布了:1.一种电子乙硼烷纯化装置,其特征在于,包括:底座1,所述底座1的上方连接有反应管2,所述反应管2的顶部连接有顶盖3,所述顶盖3的顶部连接有管道20,所述管道20上设有微流量控制器22,所述底座1的底部通过连管连接有冷阱设备19,所述反应管2的外部设有加热组件,所述顶盖3的底部设有能在反应管2破裂时对反应管2进行隔离的隔离组件,所述反应管2的内部设有能对反应进行催化的催化组件;所述隔离组件包括:隔离套4、环板5、密封垫6、电磁阀21、用于驱动环板5下降的驱动组件;所述隔离套4的一端固定安装在顶盖3的底部,所述环板5固定安装在隔离套4的底部,所述密封垫6固定连接在环板5的底部,所述电磁阀21分别设置在管道20及连管上; 所述驱动组件包括:滑杆7、第一弹簧8、第一铁杆9、第一电磁铁10、用于控制第一电磁铁10断电的控制组件;所述滑杆7等距环绕固定安装在顶盖3的底部,所述环板5滑动套设在多个滑杆7的外部,所述第一弹簧8套设在滑杆7的外部,所述第一弹簧8的两端分别与顶盖3的底部及环板5的顶部固定连接,所述第一电磁铁10固定连接在顶盖3的底部,所述第一铁杆9固定安装在环板5的顶部,所述第一铁杆9与第一电磁铁10吸附固定。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人博纯(泉州)半导体材料有限公司;博纯材料股份有限公司,其通讯地址为:362100 福建省泉州市惠安县东桥镇泉惠石化工业园区;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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