纳克微束(北京)有限公司胡继闯获国家专利权
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龙图腾网获悉纳克微束(北京)有限公司申请的专利电子探测器及电子探测系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115394622B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211216077.3,技术领域涉及:H01J37/244;该发明授权电子探测器及电子探测系统是由胡继闯;何伟;张景龙;郎永辉;牛辉;宋航;张月新;张振旗;李凤民;张子豪设计研发完成,并于2022-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子探测器及电子探测系统在说明书摘要公布了:本发明提供一种电子探测器及电子探测系统。该电子探测器包括:法拉第笼,用于收集二次电子;固定于屏蔽外筒的电子倍增器,用于基于电子倍增器输入端的第一电压和电子倍增器输出端的第二电压对二次电子进行一级倍增放大;分别与电子倍增器输入端和电子倍增器输出端连接的供电环,用于向电子倍增器输入端提供第一电压,向电子倍增器输出端提供第二电压;固定于屏蔽外筒的半导体探测器,用于对二次电子施加第三电压和偏置电压以将二次电子进行二级倍增放大后转换为电流信号;与半导体探测器连接的放大器电路,用于将电流信号转换为电压信号;信号放大处理电路,用于将电压信号进行放大后转换为图像信号,可以提高电子探测效率,增强图像信噪比。
本发明授权电子探测器及电子探测系统在权利要求书中公布了:1.一种电子探测器,其特征在于,包括: 法拉第笼,用于收集二次电子; 固定于屏蔽外筒的电子倍增器,用于基于电子倍增器输入端的第一电压和电子倍增器输出端的第二电压对所述二次电子进行一级倍增放大; 分别与所述电子倍增器输入端和所述电子倍增器输出端连接的供电环,用于向所述电子倍增器输入端提供第一电压,向所述电子倍增器输出端提供第二电压; 固定于屏蔽外筒的半导体探测器,用于对经过一级倍增放大的二次电子施加第三电压和偏置电压以将所述二次电子进行二级倍增放大后转换为电流信号;第三正电压HV3为工作基准电压,第三电压HV3大于第二电压HV2,第二电压HV2大于第一电压HV1;通过调节HV2与HV1之间的电压差调整一级倍增的大小,通过调节HV3与HV2之间的电压差调整二级倍增的大小; 与所述半导体探测器连接的放大器电路,用于将所述电流信号转换为电压信号; 信号放大处理电路,用于将所述电压信号进行放大后转换为图像信号; 固定于所述法拉第笼的第一聚焦透镜,用于对所述二次电子进行聚焦; 绝缘环,所述第一聚焦透镜通过所述绝缘环与所述屏蔽外筒固定; 绝缘筒,所述电子倍增器、所述半导体探测器和所述绝缘环均通过所述绝缘筒固定于所述屏蔽外筒; 固定于所述绝缘筒的第二聚焦透镜,用于对经过一级倍增放大的二次电子进行聚焦,将聚焦后的二次电子送入所述半导体探测器。
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