台积电(中国)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司苏强获国家专利权
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龙图腾网获悉台积电(中国)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利湿式工作台系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224007082U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520554660.8，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型湿式工作台系统是由苏强;徐毅珵;李闯;张境烊设计研发完成，并于2025-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本湿式工作台系统在说明书摘要公布了：一种湿式工作台系统包括第一处理设备、晶圆转运机器人及夹持组件。第一处理设备包括界定处理室的壳体，以及在壳体中移动且包括设置以支撑晶圆的框架的批次晶圆载具。晶圆转运机器人设置以将晶圆转运至批次晶圆载具。夹持组件设置以夹紧批次晶圆载具上的晶圆。夹持组件包括由旋转轴耦接的一对夹持臂，夹持臂各自具有位于旋转轴的相对侧的把手及臂部，臂部具有多个插槽，且插槽的节距与批次晶圆载具的凹槽的节距相同。
本实用新型湿式工作台系统在权利要求书中公布了：1.一种湿式工作台系统，其特征在于，包含： 一第一处理设备，包含： 一壳体，界定一处理室；以及 一批次晶圆载具，在该壳体中移动且包含设置以支撑一晶圆的一框架； 一晶圆转运机器人，设置以将该晶圆转运至该批次晶圆载具上；以及 一夹持组件，设置以夹紧该批次晶圆载具上的该晶圆，其中该夹持组件包含由一旋转轴耦接的一对夹持臂，各该夹持臂具有位于该旋转轴的相对侧的一把手及一臂部，该臂部具有多个插槽，且所述多个插槽的一节距与该批次晶圆载具的多个凹槽的一节距相同。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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