浙江晶瑞电子材料有限公司刘小琴获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晶瑞电子材料有限公司申请的专利衬底浸液取用工装及水车获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224007060U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520470403.6,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型衬底浸液取用工装及水车是由刘小琴;欧阳鹏根;杨水淼;陈彦宇;杨华设计研发完成,并于2025-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底浸液取用工装及水车在说明书摘要公布了:本申请提供了一种衬底浸液取用工装及水车,属于衬底清洗技术领域,解决了现有技术人工浸液衬底易受污染的问题。本申请的衬底浸液取用工装包括:第一基体,所述第一基体内设有第一腔体,第一基体上开设有第一开口,第一开口与所述第一腔体连通,且所述第一开口用于与水车内的液体相通;第二基体,所述第二基体具有进入或伸出所述第一腔体的活动自由度,所述第二基体内设有第二腔体,第二腔体用于容置衬底篮,所述第二基体上开设有第二开口,所述第二开口与所述第二腔体相通;以及固定结构,所述固定结构设置于所述第一基体与所述第二基体之间。本申请通过抓取第二基体投放入第一腔体内可以避免直接接触溶液而受污染,具有较高的操作安全性。
本实用新型衬底浸液取用工装及水车在权利要求书中公布了:1.一种衬底浸液取用工装,其特征在于,包括: 第一基体100,所述第一基体100内设有第一腔体110,所述第一基体100上开设有第一开口120,所述第一开口120与所述第一腔体110连通,且所述第一开口120用于与水车内的液体相通; 第二基体200,所述第二基体200具有进入或伸出所述第一腔体110的活动自由度,所述第二基体200内设有第二腔体210,所述第二腔体210用于容置衬底篮,所述第二基体200上开设有第二开口220,所述第二开口220与所述第二腔体210相通;以及 固定结构300,所述固定结构300设置于所述第一基体100与所述第二基体200之间,所述固定结构300具有第一状态和第二状态,所述第一状态下,所述固定结构300限制所述第一基体100与所述第二基体200在竖直方向相对活动,所述第二状态下,所述固定结构300解除所述第一基体100与所述第二基体200在竖直方向相对活动的限制。
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