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龙图腾网获悉宁波芯丰精密科技有限公司申请的专利一种晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224007056U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520160300.X，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆清洗装置是由万先进;邬龙威;朱松;谢烨超;锁志勇;向毅;边逸军设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体设备技术领域，公开一种晶圆清洗装置，包括壳体单元、转动单元和清洗单元。壳体单元包括主壳体、第一门体和第二门体，主壳体内设置有安装腔室，主壳体的侧壁设置有与安装腔室连通的开口通道。第一门体和第二门体可沿竖向升降，以封堵开口通道的内外两端。开口通道与抽风管连通，第一门体、第二门体和开口通道围设形成导出腔。转动单元包括第一驱动机构和安装座，第一驱动机构的壳体设置于安装腔室内，第一驱动机构的输出端与安装座传动连接。晶圆设置于安装座上，第一驱动机构用于驱动安装座转动。清洗单元用于清洗晶圆，并向安装腔室通入氧化气体和保护气体。该晶圆清洗装置可以防止因气体泄露，避免影响工作人员健康。

本实用新型一种晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，被配置为用于清洗晶圆，其特征在于，包括： 壳体单元1，包括主壳体11、第一门体12和第二门体13，所述主壳体11内设置有安装腔室113，所述主壳体11的侧壁设置有与所述安装腔室113连通的开口通道111，所述第一门体12可升降地设置于所述主壳体11的外侧面，且能够封堵所述开口通道111的靠外的一端，所述第二门体13可升降设置于所述主壳体11的内侧面，且能够封堵所述开口通道111的靠内的一端，所述开口通道111被配置为与抽风管16连通，所述第一门体12、所述第二门体13和所述开口通道111能够共同围设形成导出腔； 转动单元2，包括第一驱动机构21和安装座22，所述第一驱动机构21的壳体设置于所述安装腔室113内，所述第一驱动机构21的输出端与所述安装座22传动连接，所述晶圆被配置为设置于所述安装座22上，且与所述安装座22的上表面沿竖向间隔设置，所述第一驱动机构21用于驱动所述安装座22以竖向为轴转动，以使所述安装座22卡紧所述晶圆； 清洗单元，设置于所述安装腔室113内，所述清洗单元用于向所述晶圆喷射清洗液，并向所述安装腔室113内通入氧化气体和保护气体。

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