深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司李学文获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利边缘钝化镀膜反应室结构及钝化设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224007022U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520141732.6,技术领域涉及:H10F71/00;该实用新型边缘钝化镀膜反应室结构及钝化设备是由李学文;李军阳;刘兵吉;许林华;肖岳南设计研发完成,并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本边缘钝化镀膜反应室结构及钝化设备在说明书摘要公布了:本实用新型提出了一种边缘钝化镀膜反应室结构及钝化设备,包括:反应炉体,内部放置钝化舟;钝化舟包括第一电极板,通电时第一电极板与钝化舟内的钝化片盒的电势相反,在钝化片盒中电池片的钝化面与第一电极板之间形成用于产生等离子体的交变电场。本实用新型通过钝化片盒内的电池片顶平面与第一电极板形成交变电场产生等离子体,实现对钝化片盒内的电池片顶平面的均匀镀膜;第二电极板的开孔可以将等离子体引流沉积于钝化片盒内电池片的上顶面,实现叠加镀膜钝化。并且同时满足ALD、PECVD、退火工艺时的气场、电场和温场的工艺需求。实现多重工艺在同次工作环境中进行无缝切换。
本实用新型边缘钝化镀膜反应室结构及钝化设备在权利要求书中公布了:1.一种边缘钝化镀膜反应室结构,其特征在于,包括: 反应炉体,内部设有反应腔室用于放置钝化舟,并设有连通所述反应腔室的进气口和抽气口; 钝化舟,用于装载钝化片盒,所述钝化舟包括第一电极板,其中所述第一电极板靠近并且正对装载的所述钝化片盒中电池片的钝化面; 电极组件,安装在所述反应炉体上,与所述钝化舟的所述第一电极板和所述钝化片盒电连接,通电时使所述第一电极板与所述钝化片盒的电势相反,以使所述钝化片盒中电池片的钝化面与所述第一电极板之间形成用于产生等离子体的交变电场。
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