珠海市骏逸电子科技有限公司罗弦获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海市骏逸电子科技有限公司申请的专利一种晶圆表面处理用等离子处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224005875U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520545230.X，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种晶圆表面处理用等离子处理设备是由罗弦设计研发完成，并于2025-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆表面处理用等离子处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆表面处理技术领域，具体为一种晶圆表面处理用等离子处理设备，包括等离子处理设备主体，所述等离子处理设备主体的内部设置有真空腔体组件，所述等离子处理设备主体的底部设置有稳定组件；真空腔体组件，所述真空腔体组件包括真空箱，所述真空箱的两端内壁固定安装有支撑座，所述支撑座的上方设置有水冷极板。本实用新型等离子处理设备通过真空腔体组件的设置，保证了晶圆在进行表面处理时，温度保持稳定，避免温度过高，保证了晶圆的加工质量、材料性能和晶圆加工的生产效率，通过稳定组件的设置，提高了与地面之间的摩擦力，保证了等离子处理设备主体在运作时不会出现位置偏移。
本实用新型一种晶圆表面处理用等离子处理设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆表面处理用等离子处理设备，其特征在于，包括： 等离子处理设备主体01，所述等离子处理设备主体01的内部设置有真空腔体组件02，所述等离子处理设备主体01的底部设置有稳定组件03； 真空腔体组件02，所述真空腔体组件02包括真空箱21，所述真空箱21的两端内壁固定安装有支撑座22，所述支撑座22的上方设置有水冷极板23，所述水冷极板23的背面两端分别连接有一号水管24和二号水管25，所述水冷极板23的上方设置有存放盘26，所述存放盘26的两端设置有滑轨27。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人珠海市骏逸电子科技有限公司，其通讯地址为：519000 广东省珠海市金湾区三灶镇定湾二路55号1厂房第7层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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