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龙图腾网获悉上海微釜半导体设备有限公司申请的专利立式炉、晶圆边缘缺陷在线检测系统及其检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121548283B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610036400.0，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权立式炉、晶圆边缘缺陷在线检测系统及其检测方法是由姜蔚;董坤设计研发完成，并于2026-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本立式炉、晶圆边缘缺陷在线检测系统及其检测方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种立式炉、晶圆边缘缺陷在线检测系统及其检测方法，在线检测系统包括第一线扫描相机、晶圆传送机器人、位置调节组件和控制模块，晶圆传送机器人用于同时夹取多片晶圆，并驱动各夹持机构控制多片晶圆在轴向上错位布置及保持旋转；位置调节组件包括驱动机构及第一导向轨道；控制模块用于控制驱动机构驱动第一线扫描相机沿第一导向轨道依次移动至与各晶圆的边缘区域对应的检测工位，以对旋转的晶圆的边缘区域进行沿周向的连续扫描，并根据获得的第一圆周扫描图像判断各晶圆的边缘区域是否存在缺陷。本申请实现了高效批量在线检测，显著提升了检测效率，保证了在实现在线检测的同时不会影响晶圆的传输效率。

本发明授权立式炉、晶圆边缘缺陷在线检测系统及其检测方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆边缘缺陷在线检测系统，用于立式炉，其特征在于，包括： 第一线扫描相机，位于立式炉的装卸腔内的检测区； 晶圆传送机器人，包括用于将晶圆从晶圆盒传送至晶舟的机器人本体及设置于所述机器人本体上的末端执行器，所述末端执行器设有沿轴向并列排布的多个夹持机构以及与之连接的驱动组件，用于同时夹取多片晶圆，并驱动各夹持机构控制所述多片晶圆在检测过程中在轴向上错位布置及保持旋转，以使每一片晶圆的至少部分边缘区域在径向上不被其他晶圆遮挡； 位置调节组件，包括驱动机构及第一导向轨道，所述第一线扫描相机滑动设置于所述第一导向轨道上并与所述驱动机构连接，所述第一导向轨道设置于所述检测区且设有多个与错位布置后各晶圆的边缘区域相对应的检测工位； 控制模块，分别与所述晶圆传送机器人、所述第一线扫描相机和所述驱动机构连接，用于控制所述驱动机构驱动所述第一线扫描相机沿所述第一导向轨道依次移动至与各晶圆的边缘区域对应的检测工位，且在所述第一线扫描相机与目标晶圆的边缘区域对准后，控制所述第一线扫描相机对旋转的晶圆的边缘区域进行沿周向的连续扫描，以获得各晶圆的边缘区域的第一圆周扫描图像，并根据所述第一圆周扫描图像判断各晶圆的边缘区域是否存在缺陷。

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