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龙图腾网获悉长春智冉光电科技有限公司申请的专利一种深紫外双波段可变NA检测物镜及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121477452B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610030733.2，技术领域涉及：G02B13/00；该发明授权一种深紫外双波段可变NA检测物镜及方法是由初宏亮设计研发完成，并于2026-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种深紫外双波段可变NA检测物镜及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种深紫外双波段可变NA检测物镜及方法，涉及光学技术领域，检测物镜包括补偿镜组、切换镜组、固定镜组和孔径可变光阑，通过采用波长更短的深紫外波长具有更高的分辨率，沿着光轴滑动补偿镜组、切换镜组和孔径可变光阑，实现不同波段的选择，提高缺陷的检测精度与发现几率，在不同波长切换后系统无需再次对焦，操作便捷，提高了工作效率，简化设备结构，检测物镜具体较大的成像靶面，有利于提高检测精度，通过改变孔径可变光阑的孔径大小改变检测物镜的数值孔径NA，实现不同波段不同NA的多模式工作，检测物镜的应用范围更加广泛，解决了现有检测物镜存在仅能进行单波长工作、设备复杂化以及存在检测误差的技术问题。

本发明授权一种深紫外双波段可变NA检测物镜及方法在权利要求书中公布了：1.一种深紫外双波段可变NA检测物镜，包括：补偿镜组、切换镜组和固定镜组，其特征在于，所述补偿镜组、切换镜组和固定镜组从物面16起沿光轴方向依次设置，补偿镜组和切换镜组均具有正光焦度，固定镜组具有负光焦度，检测物镜还包括孔径可变光阑6，孔径可变光阑6设置在补偿镜组和切换镜组之间，补偿镜组、切换镜组和孔径可变光阑6均沿着光轴滑动设置，检测物镜的波长范围为190nm~280nm，物面16的直径为2mm；所述补偿镜组包括沿光轴方向依次设置的第一透镜1、第二透镜2、第三透镜3、第四透镜4和第五透镜5，第一透镜1为平凹透镜，第二透镜2、第三透镜3和第四透镜4均为弯月透镜，第五透镜5为双凸透镜；所述切换镜组包括沿光轴方向依次设置的第六透镜7、第七透镜8、第八透镜9、第九透镜10和第十透镜11，第六透镜7和第十透镜11均为弯月透镜，第七透镜8、第八透镜9和第九透镜10均为双凸透镜；所述固定镜组包括沿光轴方向依次设置的第十一透镜12、第十二透镜13、第十三透镜14和第十四透镜15，第十一透镜12、第十二透镜13和第十四透镜15均为弯月透镜，第十三透镜14为双凹透镜。

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