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龙图腾网获悉内蒙古大全新能源研究院有限公司申请的专利一种扫描外形的电子级多晶硅表金属检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121364235B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511951980.8，技术领域涉及：G01N27/626；该发明授权一种扫描外形的电子级多晶硅表金属检测方法是由张泽玉;马英英;郝小龙设计研发完成，并于2025-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种扫描外形的电子级多晶硅表金属检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种扫描外形的电子级多晶硅表金属检测方法，包括以下步骤：S1、取样；S2、测量体金属含量；S3、测量传统表金属含量；S4、计算真实表金属含量。优点在于：首次实现了对表金属检测中体金属贡献量的精确量化与扣除，解决了高纯硅材料表金属检测值系统性偏高的问题；通过3D扫描技术测量真实表面积，适用于任何不规则形状的硅块，无需将其近似为规则几何体，普适性更强。计算得到的表金属真实含量结果能更真实地反映清洗等表面处理工艺的实际效果，为清洗工艺优化提供准确的数据依据，避免误判和资源浪费。

本发明授权一种扫描外形的电子级多晶硅表金属检测方法在权利要求书中公布了：1.一种扫描外形的电子级多晶硅表金属检测方法，其特征在于，包括以下步骤： S1、取样：将待测样品破碎后，选取两个试样，分别作为体金属检测试样和表金属检测试样； S2、测量体金属含量：通过酸处理和纯水清洗，实现对体金属检测试样的表皮去除，得到表面洁净的体金属检测试样；再对表面洁净的体金属检测试样进行质量称量，再通过混酸溶解该试样，将得到的含金属离子溶液经富集、溶解处理后，采用质谱检测技术测定金属离子浓度，据此计算得出待测样品的体金属含量； S3、测量传统表金属含量：对表金属检测试样进行质量称量，利用三维扫描技术重建其三维模型并获取表面积参数，再通过刻蚀处理使表金属检测试样表面一定厚度硅层中的金属杂质溶解于刻蚀液中，采用质谱检测技术测定刻蚀液中金属离子浓度，进而计算得到该硅层对应的传统表金属含量； S4、计算真实表金属含量：基于所述S2计算得的体金属含量与所述S3中计算得到的被刻蚀硅层的体积，计算被刻蚀硅层内包含的体金属质量；结合所述S3中计算得到的传统表金属含量与表金属检测试样的质量，得到传统表金属总质量；最终通过传统表金属总质量与刻蚀硅层内体金属质量的差值，获得真实表金属质量，进而计算得出待测样品的真实表金属含量； 所述S3、测量传统表金属含量，具体包括以下步骤： S31、称量所述表金属检测试样的质量msurface； S32、对所述表金属检测试样进行三维扫描，计算出所述表金属检测试样的表面积A； S33、将所述表金属检测试样溶解于一定体积的刻蚀液中，在所述表金属检测试样表面刻蚀一定厚度H的硅层，形成含金属离子的刻蚀溶液； S34、通过电感耦合等离子体质谱仪测定刻蚀溶液中的金属浓度Csurface； S35、取与步骤S33相同体积的刻蚀液作为第二空白溶液，测量第二空白溶液中的金属浓度Csurface_blank； 利用所测得的刻蚀溶液中的金属浓度和第二空白溶液中的金属浓度计算传统表金属含量； 所述S4、计算真实表金属含量，具体包括以下步骤： S41、根据S2、测量体金属含量中测得的体金属含量、被刻蚀掉的硅层体积，计算被刻蚀掉的硅层中所包含的体金属质量，计算公式如下： mbody_in_etching=wbody×ρ×A×H3 公式3中： wbody为S2中计算得到的待测样品的体金属含量ngg； A为表金属检测试样的表面积cm2； H为表金属检测试样表面刻蚀一定厚度cm； ρ为硅的密度； mbody_in_etching为被刻蚀掉的硅层中所包含的体金属质量ng； S42、根据S3、测量传统表金属含量测得的传统表金属含量、所述表金属检测试样的质量，计算出传统表金属质量； S43、从传统表金属质量中除去被刻蚀掉的硅层中所包含的体金属质量，得到真实的表金属质量，计算公式如下： mreal_surface=CsurfaceCsurface_blank×Vsurfacembody_in_etching4 公式4中： Csurface为刻蚀溶液中的金属浓度ngmL； Csurface_blank为第二空白溶液中的金属浓度计算传统表金属含量ngmL； Vsurface为S33中刻蚀液的体积mL； mreal_surface为真实的表金属质量ng； S44、根据真实的表金属质量以及所述表金属检测试样的质量，即可算出真实表金属含量，计算公式如下： wreal_surface=mreal_surfacemsurface5 公式5中： msurface为表金属检测试样的质量g； wreal_surface为真实表金属含量ngg。

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