光科芯图(北京)科技有限公司傅俊隆获国家专利权
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龙图腾网获悉光科芯图(北京)科技有限公司申请的专利基于平面波的照明系统及曝光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121348673B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511905961.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权基于平面波的照明系统及曝光设备是由傅俊隆设计研发完成，并于2025-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于平面波的照明系统及曝光设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于平面波的照明系统及曝光设备，包括：第一反射镜，波前像差检测模块相对于光线入射方向倾斜，第一反射镜用于接收来自光源的光线并对光线进行反射；第二反射镜，用于接收第一反射镜反射的光线并对光线进行扩束；第三反射镜，用于接收第二反射镜反射的光线并对光线进行准直后向目标物反射光线。本发明中通过第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜的反射路径，实现光路折叠，大幅缩短照明系统的轴向长度，显著节省空间。三个反射镜的结构数量远少于传统多透镜组，且反射镜的定位精度要求低于多透镜的同轴度要求，简化了照明系统整体的结构设计和装配流程，降低了系统复杂度和使用成本。
本发明授权基于平面波的照明系统及曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种基于平面波的照明系统，其特征在于，包括： 第一反射镜1，反射面朝向光源8并相对于光线入射方向倾斜，所述第一反射镜1用于接收来自光源8的光线并对其进行反射； 第二反射镜2，用于接收所述第一反射镜1反射的光线并对光线进行扩束； 第三反射镜3，用于接收所述第二反射镜2反射的光线并对光线进行准直后向目标物4输出用以曝光的平面波激光； 所述第一反射镜1配置为能够对光线进行反射和透射； 所述照明系统还包括波前像差检测模块6，用于接收所述第一反射镜1在第一方向上透射的光线，所述第一方向平行于所述第一反射镜1与所述第二反射镜2之间的光路方向； 所述目标物4朝向所述第三反射镜3的一面为平面反射面。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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