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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利气体浓度检测装置及实时检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121347658B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511935721.6，技术领域涉及：G01N29/024；该发明授权气体浓度检测装置及实时检测方法是由张南南;张黎明;云燕午;任聪群设计研发完成，并于2025-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本气体浓度检测装置及实时检测方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种气体浓度检测装置及实时检测方法。该气体浓度检测装置，用于实时检测半导体设备的第一气路中的多元混合气体中待测气体的浓度，该装置包括测量腔、参考腔、第一超声波发射换能器、第一超声波接收换能器、第二超声波发射换能器、第二超声波接收换能器与处理器；第一超声波接收换能器接收第一超声波信号并检测第一声压值；第二超声波接收换能器接收第二超声波信号并检测第二声压值；处理器基于第一超声波信号与第二超声波信号计算第一超声波信号的声速，基于第一声压值与第二声压值得到待测气体的第二衰减系数，基于上述的声速与第二衰减系数计算待测气体的浓度。本申请的技术方案，可以提高在多元混合气体环境中气体浓度检测的精度。

本发明授权气体浓度检测装置及实时检测方法在权利要求书中公布了：1.一种气体浓度检测装置，用于实时检测半导体设备的第一气路中的多元混合气体中待测气体的浓度，所述多元混合气体包括至少两种气体，其特征在于，所述装置包括：测量腔、参考腔、第一超声波发射换能器、第一超声波接收换能器、第二超声波发射换能器、第二超声波接收换能器与处理器； 所述测量腔设置于所述第一气路上，所述第一气路贯穿所述测量腔；所述第一气路用于传输所述多元混合气体；所述第一超声波发射换能器与所述第一超声波接收换能器设置于所述测量腔的内壁上，位于所述测量腔相对的两端，且位置相对； 所述参考腔设置于背景气体的第二气路上，所述第二气路贯穿所述参考腔；所述第二超声波发射换能器与所述第二超声波接收换能器设置于所述参考腔的内壁上，位于所述参考腔相对的两端，且位置相对； 所述第一超声波发射换能器用于发射第一超声波信号，所述第一超声波接收换能器用于接收所述第一超声波信号并检测接收所述第一超声波信号时的第一声压值；所述第二超声波发射换能器用于发射第二超声波信号，所述第二超声波接收换能器用于接收所述第二超声波信号并检测接收所述第二超声波信号时的第二声压值； 所述处理器用于基于所述第一超声波信号与所述第二超声波信号获取所述第一超声波信号与所述第二超声波信号之间的相位差以及基于所述相位差计算所述第一超声波信号的声速； 所述处理器还用于基于所述第一声压值、所述第二声压值以及预设的所述背景气体的第一衰减系数计算得到待测气体的第二衰减系数； 所述处理器还用于基于所述声速与所述第二衰减系数计算所述待测气体的浓度。

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