季华实验室王旋获国家专利权
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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种大尺寸真空腔体热板升降及调节系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121346469B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511926267.8,技术领域涉及:F26B5/04;该发明授权一种大尺寸真空腔体热板升降及调节系统是由王旋;周志;李奇;周煜豪;周川堰设计研发完成,并于2025-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大尺寸真空腔体热板升降及调节系统在说明书摘要公布了:本发明涉及真空干燥设备技术领域,尤其涉及一种大尺寸真空腔体热板升降及调节系统。其包括机架、真空腔体、加热板、冷凝板、加热升降组件、多个加热调平组件和多个顶针组,加热升降组件设置于真空腔体外底部,其驱动端穿过底板伸入腔体内,用于带动加热板整体升降;多个加热调平组件分布于驱动端上,通过第一球头顶升螺栓微调连接板高度,形成水平加热平台;顶针组阵列布置于腔体底板,其顶端构成承载平面以支撑基板;加热板上升时托举基板脱离顶针,精确控制其与上方冷凝板之间的距离。通过多个间隔分布的加热调平组件,可独立微调加热平台各位置高度,精准校正加热板水平度,保证与冷凝板的平行度。
本发明授权一种大尺寸真空腔体热板升降及调节系统在权利要求书中公布了:1.一种大尺寸真空腔体热板升降及调节系统,其特征在于,包括机架、真空腔体、加热板、冷凝板、加热升降组件、多个加热调平组件和多个顶针组,所述真空腔体设置在所述机架上,所述加热升降组件设置在所述真空腔体的外底部,所述加热升降组件的驱动端穿过所述真空腔体的底板并伸入所述真空腔体内,所述加热升降组件用于驱动加热板沿竖直方向整体升降,多个所述加热调平组件间隔设置在所述加热升降组件的驱动端上,多个加热调平组件的驱动端表面共同构成加热平台,所述加热板设置在所述加热平台上,用于对基板进行加热,多个所述顶针组阵列分布在所述真空腔体的底板上,所述加热板上开设有多个用于所述顶针组的顶端穿过的升降孔,所有的所述顶针组的顶面共同构成用于承载基板的承载平面,所述承载平面位于所述加热板的上方,所述冷凝板设置在所述真空腔体内部且位于所述承载平面的上方,所述冷凝板用于冷凝从基板中挥发的溶剂气体; 每个所述加热调平组件包括第一球头顶升螺栓、第一连接螺栓和连接板,所述连接板通过所述第一连接螺栓与所述加热升降组件的驱动端连接固定,所述连接板上设有第一螺纹孔,所述第一球头顶升螺栓与所述第一螺纹孔螺纹连接,所述第一球头顶升螺栓的球头部用于与所述加热升降组件的驱动端抵接,所有的所述连接板的上表面在调平后共同构成所述加热平台; 所述加热升降组件包括驱动装置和四个丝杆升降机构,四个所述丝杆升降机构分别设置在所述真空腔体底部的四角区域,所述驱动装置设置在真空腔体上,所述驱动装置用于同步驱动四个丝杆升降机构使所述加热板实现同步升降; 所述丝杆升降机构包括丝杆本体、丝杆螺母、支撑筒、端盖、直线轴承、第一O型圈、第二O型圈和波纹管;所述丝杆本体沿竖直方向设置,所述丝杆本体与所述驱动装置传动连接,所述丝杆螺母与所述丝杆本体螺纹连接,所述支撑筒的一端与所述丝杆螺母固接,所述支撑筒的另一端穿过所述真空腔体的底板并伸入所述真空腔体内,所述端盖设置在所述支撑筒伸入真空腔体内的一端上,所述连接板通过所述第一连接螺栓与所述端盖连接固定,所述直线轴承设置在所述真空腔体底板上,所述支撑筒穿设在所述直线轴承内并与其滑动连接,所述波纹管同轴套设于所述支撑筒外部,所述波纹管的一端与所述真空腔体固接,所述第一O型圈设置在所述波纹管与真空腔体之间,用于密封所述波纹管与真空腔体之间的连接间隙,所述波纹管的另一端与所述端盖固接,所述第二O型圈设置在所述波纹管与端盖之间,用于密封所述波纹管与端盖之间的连接间隙。
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