江苏永鼎股份有限公司路庆海获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏永鼎股份有限公司申请的专利一种多波长垂直腔面发射激光器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121332294B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511892038.9,技术领域涉及:H01S5/42;该发明授权一种多波长垂直腔面发射激光器及其制备方法是由路庆海;周莉;杨红蕾设计研发完成,并于2025-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多波长垂直腔面发射激光器及其制备方法在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体器件的技术领域,公开一种多波长垂直腔面发射激光器及其制备方法。其中激光器包括:顺次设置的衬底、下分布式布拉格反射镜以及激光层,激光层包括多个通过隔离区隔开的激光单元,每个激光单元包括具有点缺陷的孔阵列;光栅层,与激光层之间设有绝缘层,光栅层包括多个光栅结构,每个光栅结构设置于一个激光单元的顶部,并覆盖对应的孔阵列;多个环形电极,每个环形电极套设在一个光栅结构周部,且环形电极内环与光栅结构之间具有间隙,每个环形电极与公共电极单独形成环路。本申请的多波长垂直腔面发射激光器,能够并行输出多个波长稳定、偏振稳定且可独立调谐的激光。
本发明授权一种多波长垂直腔面发射激光器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种多波长垂直腔面发射激光器,其特征在于,包括: 衬底1,所述衬底1背面设置有公共电极11;所述衬底1的背面具有悬空结构,所述悬空结构位于激光单元33下方; 下分布式布拉格反射镜2,设置在所述衬底1的正面; 激光层3,设置在所述下分布式布拉格反射镜2上,所述激光层3包括多个通过隔离区34隔开的激光单元33,每个所述激光单元33包括具有点缺陷332的孔阵列; 所述激光层3包括: 有源区31,设置在所述下分布式布拉格反射镜2上; 上分布式布拉格反射镜32,设置在所述有源区31上; 所述孔阵列贯穿所述上分布式布拉格反射镜32,并部分进入所述有源区31;光栅层,与激光层3之间设有绝缘层7,所述光栅层包括多个光栅结构4,每个光栅结构4设置于一个所述激光单元33的顶部,并覆盖对应的孔阵列;所述光栅结构4为亚波长金属光栅; 多个环形电极5,每个环形电极5套设在一个光栅结构4周部,且环形电极5内环与所述光栅结构4之间具有间隙6,每个环形电极5与公共电极11单独形成环路。
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