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季华实验室周志获国家专利权

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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种喷墨打印高低温固化成膜设备、生产线和成膜方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121290948B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511854064.2,技术领域涉及:B41J2/01;该发明授权一种喷墨打印高低温固化成膜设备、生产线和成膜方法是由周志;王旋;李奇;刘俞设计研发完成,并于2025-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。

一种喷墨打印高低温固化成膜设备、生产线和成膜方法在说明书摘要公布了:本发明涉及薄膜制备技术领域,尤其涉及一种喷墨打印高低温固化成膜设备、生产线和成膜方法。设备包括中心传输腔体、双臂机械手、气氛控制组件、至少两个低温干燥单元、至少两个高温烘烤单元和多个门阀,低温干燥单元和高温烘烤单元环绕设置在中心传输腔体的外周,低温干燥单元和高温烘烤单元分别通过门阀与中心传输腔体密封连接,双臂机械手将基板在中心传输腔体和各单元之间的转运;气氛控制组件独立调节各腔体及单元内的气氛环境。通过多边形中心传输腔体的布局设计,结合双臂机械手实现基板在多单元间的高效转运,传输过程在中心传输腔体的封闭保护下完成,最大程度减少了污染风险,并通过双臂机械手并行处理,提高生产效率。

本发明授权一种喷墨打印高低温固化成膜设备、生产线和成膜方法在权利要求书中公布了:1.一种喷墨打印高低温固化成膜设备,其特征在于,包括中心传输腔体、双臂机械手、气氛控制组件、至少两个低温干燥单元、至少两个高温烘烤单元和多个门阀,所述中心传输腔体为正多边形密封腔体,其周向侧壁上分别开设有均连通所述中心传输腔体内部空间的进入接口、输出接口和多个加工接口,所述进入接口用于送入基板,所述输出接口用于送出基板,每个接口处均固定安装所述门阀,所述门阀用于打开或关闭对应的接口;所述低温干燥单元和高温烘烤单元环绕设置在所述中心传输腔体的外周,所述低温干燥单元用于对基板进行低温加热以完成干燥,所述高温烘烤单元用于对基板进行高温加热以完成固化,所述低温干燥单元和高温烘烤单元的基板出入口分别通过门阀与一个所述加工接口密封连接,以形成基板传输通道;所述双臂机械手设置在所述中心传输腔体内部,所述双臂机械手可绕所述中心传输腔体的中心轴线旋转,并且其用于夹持基板的操作端可沿径向伸缩,以穿过开启的门阀,将基板在所述中心传输腔体、低温干燥单元和高温烘烤单元之间转运;所述气氛控制组件通过独立的管道分别与所述中心传输腔体、每个低温干燥单元和每个高温烘烤单元连通,用于独立调节各腔体及单元内的气氛环境; 所述气氛控制组件包括氮气供给装置、真空泵组、大气连通阀和气体传感器;所述氮气供给装置的输出端通过管道和电磁阀分别与所述中心传输腔体、低温干燥单元及高温烘烤单元连通;所述真空泵组的输入端通过管道和电磁阀分别与中心传输腔体、低温干燥单元及高温烘烤单元连通;所述大气连通阀串联于中心传输腔体与外界大气之间的管道上,用于控制中心传输腔体与大气的连通;所述气体传感器设有多个,分别固定安装于所述中心传输腔体、低温干燥单元及高温烘烤单元内部,用于检测各区域的真空度及气体成分; 还包括两个真空过渡腔,两个所述真空过渡腔分别密封连接于进入接口和输出接口的外侧;所述真空过渡腔的两端均设有真空阀,其内部设有用于临时放置基板的载台,所述真空过渡腔与所述气氛控制组件通过管道连通,用于实现外部大气环境与中心传输腔体之间的气氛过渡。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人季华实验室,其通讯地址为:528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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