合肥芯碁微电子装备股份有限公司杨坤伦获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利一种LDI直写曝光机的能量格测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116256949B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310267442.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种LDI直写曝光机的能量格测试方法是由杨坤伦;朱盼盼设计研发完成，并于2023-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种LDI直写曝光机的能量格测试方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种LDI直写曝光机的能量格测试方法，包括步骤S1、获取基板样本，并进行预处理；步骤S2、将油墨涂覆在经过预处理后的基板上进行烘烤固化，再将基板放置在曝光机吸盘垫预设位置处；步骤S3、基于图形像素预设比例得到能量测试图形，并利用曝光机对其进行曝光处理；步骤S4、对曝光处理后得到的能量测试图形进行显影读取，得到能量测试图形的能量格。本发明通过激光束将能量测试图形直接通过空间光调制器扫描成像至感光油墨上，显影后读取图形的能量格，解决现有技术中曝光尺寿命有限，需定期更换，成本较高的问题。同时曝光尺折旧会降低准确度，同时红外功能易导致曝光尺高热，引发起火等风险。
本发明授权一种LDI直写曝光机的能量格测试方法在权利要求书中公布了：1.一种LDI直写曝光机的能量格测试方法，其特征在于，具体步骤包括： 步骤S1、获取基板样本，并进行预处理，所述预处理包括清洗、粗化，以及烘干处理； 步骤S2、将油墨涂覆在经过预处理后的基板上进行烘烤固化，再将基板放置在曝光机吸盘垫预设位置处； 步骤S3、基于图形像素预设比例得到能量测试图形，并利用曝光机对其进行曝光处理； 步骤S4、对曝光处理后得到的能量测试图形进行显影读取，得到能量测试图形的能量格； 所述能量测试图形由21阶不同密度的像素点组成，其中每一阶像素点的尺寸、像素点的间距和像素点面积与总面积之比依据预设比例进行设定； 所述能量测试图形的比例关系基于曝光尺的能量透过率设计； 所述能量测试图形的像素点第一格到二十一格间距之间的面积比例逐渐减小。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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