布鲁克斯自动化(德国)有限公司卢茨·莱伯斯托克获国家专利权
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龙图腾网获悉布鲁克斯自动化(德国)有限公司申请的专利EUV掩模版储备器及操作其的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114730139B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080081752.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权EUV掩模版储备器及操作其的方法是由卢茨·莱伯斯托克;伊夫·芬纳;伯恩德·拉赫巴赫;卡尔·迈尔设计研发完成，并于2020-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本EUV掩模版储备器及操作其的方法在说明书摘要公布了：提供了用于EUV掩模版储备器的操作方法400、410、存储系统300、600和夹持设备200、500。用于存储EUV掩模版的所需空间被显著地减小，同时确保了用于所存储的EUV掩模版的高质量存储环境。本发明的另一方面提供用于存储EUV掩模版的储备器700。
本发明授权EUV掩模版储备器及操作其的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于EUV内层盒100的夹持设备，其特征在于,EUV内层盒100包括两个或更多个部件并且包含EUV掩模版，其中夹持设备500被构造成将EUV内层盒100的两个或更多个部件110、120和掩模版相对于彼此固定；并且仅部分地覆盖EUV内层盒100, 其中夹持设备500覆盖EUV内层盒100的外表面的总计小于90%的一部分，以及 其中夹持设备500的包封体积小于夹持设备500可附接到的EUV内层盒100的包封体积的100%, 其中所述夹持设备500包括具有一个、两个或更多个固定手段502的一个夹持元件。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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