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龙图腾网获悉北京烁科精微电子装备有限公司申请的专利化学机械抛光设备的调度方法、装置及化学机械抛光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114219355B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111625689.3，技术领域涉及：G06Q10/0631；该发明授权化学机械抛光设备的调度方法、装置及化学机械抛光设备是由贾若雨;杨旭;孟晓云;刘志伟;周庆亚;李久芳;白琨设计研发完成，并于2021-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本化学机械抛光设备的调度方法、装置及化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本发明公开了化学机械抛光设备的调度方法、装置及化学机械抛光设备，抛光设备包括双侧传递的多个抛光头，该方法包括：获取多个抛光头的调度流程；从调度流程中提取多个抛光头在下一时刻的动作执行信息；根据动作执行信息筛选在下一时刻存在位置重叠的抛光头；根据存在位置重叠抛光头所执行动作的优先级对存在位置重叠的抛光头所对应的调度流程进行调整。本发明通过对抛光头的行为动作进行预判从而调整的调度流程，有效避免了因抛光头工作协调问题可能发生的撞击问题，同时双侧多抛光头可以通过多种组合方式按照调度流程执行动作，有效提高了晶圆在抛光过程中的动作执行效率。

本发明授权化学机械抛光设备的调度方法、装置及化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光设备的调度方法，所述抛光设备包括双侧传递的多个抛光头，其特征在于，所述方法包括： 获取多个抛光头的调度流程，所述调度流程为预先设定的抛光头的动作执行顺序，动作包括抛光、清洗、传片和装卸片，所述获取多个抛光头之间的调度流程，包括：获取多个抛光头设定的协同运行方式；通过所述协同运行方式得到各个抛光头的动作执行组合方式，所述动作执行组合方式包括每个抛光头需要执行的动作，多个抛光头完成同一抛光流程；根据各个抛光头的动作执行组合方式，按照设定的抛光流程确定各个抛光头的动作执行顺序，得到多个抛光头之的调度流程，当其中一个抛光头执行抛光或传片时，其他抛光头可独立执行抛光、清洗、传片或装卸片； 通过所述调度流程获取每个抛光头的动作信息，所述动作信息包括每个抛光头需要执行的动作类型和每个动作的工作时长； 按照预设的抛光顺序对所述动作类型进行排序，得到每个抛光头所需执行动作的顺序； 根据所述顺序和所述每个动作的工作时长得到每个抛光头执行各个动作对应的时间信息； 根据所述每个抛光头执行各个动作对应的时间信息获取多个抛光头在下一时刻的动作执行信息； 根据所述动作执行信息筛选在下一时刻存在位置重叠的抛光头； 根据存在位置重叠抛光头所执行动作的优先级对存在位置重叠的抛光头所对应的调度流程进行调整。

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