宁波舜宇仪器有限公司王波获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波舜宇仪器有限公司申请的专利一种晶圆侧面检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223992828U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520043977.5，技术领域涉及：G01N21/88；该实用新型一种晶圆侧面检测装置是由王波;夏晨洋;毛海科;邵宣奋;俞磊;陈祖贤设计研发完成，并于2025-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆侧面检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆侧面检测装置；该晶圆侧面检测装置，用于检测晶圆的边缘，包括：机架；承接组件，该承接组件固设于该机架，该承接组件具有用于承接晶圆的承接孔；运动装置，该运动装置设置于该承接孔的下方，该运动装置包括三轴平移组件、T轴旋转组件以及用于吸附晶圆的吸附组件，该三轴平移组件安装于该机架，该T轴旋转组件设置于该三轴平移组件，该吸附组件设置于该T轴旋转组件；边缘检测装置，该边缘检测装置包括上边缘检测组件和下边缘检测组件，该上边缘检测组件和下边缘检测组件沿上下方向相对设置于该机架；以及电控装置，该电控装置电连接于该运动装置和该边缘检测装置。
本实用新型一种晶圆侧面检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆侧面检测装置，用于检测晶圆的边缘，其特征在于，包括： 机架； 承接组件，所述承接组件固设于所述机架，所述承接组件具有用于承接晶圆的承接孔； 运动装置，所述运动装置设置于所述承接孔的下方，所述运动装置包括三轴平移组件、T轴旋转组件以及用于吸附晶圆的吸附组件，所述三轴平移组件安装于所述机架，所述T轴旋转组件设置于所述三轴平移组件，所述吸附组件设置于所述T轴旋转组件； 边缘检测装置，所述边缘检测装置包括上边缘检测组件和下边缘检测组件，所述上边缘检测组件和下边缘检测组件沿上下方向相对设置于所述机架；以及 电控装置，所述电控装置电连接于所述运动装置和所述边缘检测装置。
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