连科半导体有限公司李扬获国家专利权
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龙图腾网获悉连科半导体有限公司申请的专利一种真空环境中高精度升降称重装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223991155U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520365080.4，技术领域涉及：C30B29/36；该实用新型一种真空环境中高精度升降称重装置是由李扬;余涛;叶锋设计研发完成，并于2025-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空环境中高精度升降称重装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种真空环境中高精度升降称重装置，包括：炉下盖和安装座。该种真空环境中高精度升降称重装置，通过设置有升降模组、升降波纹管、磁流体、晶杆、称重安装上板、称重传感器、称重安装下板、密封件一、密封件二、密封件三和密封腔等结构，升降模组和升降波纹管配合，带动晶杆在磁流体的稳定支撑与导向下精准升降，满足工作需求，称重安装上板、称重传感器和称重安装下板组成稳定的称重结构，确保称重精准，而密封件一、密封件二、密封件三以及密封腔构建多重密封防护体系，保护关键部件，减少外界侵蚀，优化整体性能，维持装置内部真空环境，提升称重精度和稳定性，保障装置在复杂工况下正常运行。
本实用新型一种真空环境中高精度升降称重装置在权利要求书中公布了：1.一种真空环境中高精度升降称重装置，包括：炉下盖1和安装座10，其特征在于：所述炉下盖1设置在安装座10左侧，所述炉下盖1下方设置有磁流体2，所述磁流体2下方设置有称重传感器4，所述安装座10内部固定安装有升降模组9，所述安装座10上端固定安装有驱动单元11，所述驱动单元11与升降模组9配套设置。
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