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苏州精材半导体科技有限公司;北京精材半导体科技有限公司朴钟熏获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州精材半导体科技有限公司;北京精材半导体科技有限公司申请的专利化学气相沉积设备反应系统与运输系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223991137U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423311181.8,技术领域涉及:C23C16/54;该实用新型化学气相沉积设备反应系统与运输系统是由朴钟熏;崔海珍;金锡津设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

化学气相沉积设备反应系统与运输系统在说明书摘要公布了:本专利涉及气相沉积领域,特别地涉及一种化学气相沉积设备反应系统与运输系统,运输系统包括:反应容器、第一运输线、第二运输线与换向装置。反应容器用于提供化学气相沉积反应的反应空间。第一运输线与第二运输线,第一运输线与第二运输线相互垂直设置,反应容器在外部驱动力作用下沿着第一运输线或第二运输线运动。换向装置分别与第一运输线以及第二运输线相连接,换向装置包括:旋转台。反应容器能够由第一运输线移动至旋转台,经旋转台转变朝向后,再移动至于第二运输线。通过第一运输线与第二运输线实现反应容器的运输,并且换向装置能对反应容器进行定位,以使外部的供气组件能顺利的与反应容器对接实现供气。

本实用新型化学气相沉积设备反应系统与运输系统在权利要求书中公布了:1.一种运输系统,其特征在于,所述运输系统包括: 反应容器,用于提供化学气相沉积反应的反应空间; 第一运输线与第二运输线,所述第一运输线与所述第二运输线相互垂直设置,所述反应容器在外部驱动力作用下沿着所述第一运输线或所述第二运输线运动; 换向装置,分别与所述第一运输线以及所述第二运输线相连接,所述换向装置包括: 旋转台,限位件设置在所述旋转台上,以限制所述反应容器的运动,所述反应容器能够由所述第一运输线移动至所述旋转台,经所述旋转台转变朝向后,再移动至于所述第二运输线。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州精材半导体科技有限公司;北京精材半导体科技有限公司,其通讯地址为:215127 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区启明路8号综合保税区B区H厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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