江苏博涛智能热工股份有限公司曲占刚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏博涛智能热工股份有限公司申请的专利晶圆传送装置及沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223991136U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520571000.0，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型晶圆传送装置及沉积装置是由曲占刚;陶志波;崔恒飞设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆传送装置及沉积装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆传送装置及沉积装置，其中传送装置包括升降装置、横移装置、装载装置、控制器、冷却转盘，晶圆机械臂装置具有机械臂，且机械臂受控地由装载装置抓取晶圆并翻转后转移至转盘主体的限定装置，机械臂侧部沿晶圆的延展方向设置有第一主轴以及用于驱动第一主轴的第一马达以在控制器的指令控制下实现晶圆翻转，冷却转盘包括设置有限定装置的转盘主体，转盘主体沿垂直于延展方向设置有第二主轴以及用于驱动第二主轴的第二马达以在控制器的指令控制下实现晶圆平移。本实用新型通过在传送过程中保持晶圆朝下的状态，有效避免了晶圆表面受到颗粒污染，提高了晶圆的传送质量。
本实用新型晶圆传送装置及沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传送装置，包括升降装置、横移装置、装载装置、晶圆机械臂装置、控制器，其特征在于，还包括冷却转盘，所述晶圆机械臂装置具有机械臂，且所述机械臂受控地由所述装载装置抓取晶圆并翻转后转移至转盘主体的限定装置，所述机械臂侧部沿晶圆的延展方向设置有第一主轴以及用于驱动第一主轴的第一马达以在控制器的指令控制下实现晶圆翻转，所述冷却转盘包括设置有限定装置的转盘主体，所述转盘主体沿垂直于延展方向设置有第二主轴以及用于驱动第二主轴的第二马达以在控制器的指令控制下实现晶圆平移。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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