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苏州佑伦真空设备科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种坩埚回转机构的挡板装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223991131U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520522380.9,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型一种坩埚回转机构的挡板装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。

一种坩埚回转机构的挡板装置在说明书摘要公布了:本实用新型提出一种坩埚回转机构的挡板装置,所述挡板装置包括旋转机构、支柱、连接杆、挡板,所述旋转机构内部设有旋转气缸,旋转机构的顶部连接支柱,所述支柱的顶部通过锁紧装置与连接杆连接,所述连接杆垂直于支柱,所述连接杆远离支柱的一端连接挡板的上表面,所述挡板底部设有密布的网格,用于加强吸附效果,防止预熔时吸附的材料掉落到坩埚上,开始加热前,通过旋转气缸控制旋转机构旋转从而使得挡板移动至坩埚本体上方,在坩埚未完全加热前需要对材料进行预熔,将均匀性不好的这部分材料遮挡住,预熔完成后,通过旋转气缸控制旋转机构旋转从而使得挡板从坩埚本体上方移开,进行蒸镀。

本实用新型一种坩埚回转机构的挡板装置在权利要求书中公布了:1.一种坩埚回转机构的挡板装置,所述坩埚回转机构3设于真空蒸镀机的腔体底板10上,所述坩埚回转机构3包括电子枪装置1、坩埚本体2、回转机构3,所述坩埚本体2设于回转机构3顶部,所述电子枪装置1设于坩埚本体2一侧,通过回转机构3带动坩埚本体2回转,电子枪装置1通过磁场转向之后发出电子束轰击加热坩埚内的膜料实现加热,其特征在于:所述坩埚本体2上方设有挡板装置4,所述挡板装置4包括旋转机构5、支柱6、连接杆7、挡板8,所述旋转机构5内部设有旋转气缸51,旋转机构5的顶部连接支柱6,所述支柱6的顶部通过锁紧装置9与连接杆7连接,所述连接杆7垂直于支柱6,所述连接杆7远离支柱6的一端连接挡板8的上表面,所述挡板8底部设有密布的网格81,用于加强吸附效果,防止预熔时吸附的材料掉落到坩埚上,开始加热前,通过旋转气缸51控制旋转机构5旋转从而使得挡板8移动至坩埚本体2上方,在坩埚未完全加热前需要对材料进行预熔,将均匀性不好的这部分材料遮挡住,预熔完成后,通过旋转气缸51控制旋转机构5旋转从而使得挡板8从坩埚本体2上方移开,进行蒸镀。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州佑伦真空设备科技有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区阳浦路78号6号厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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