山西华芯晶图科技有限公司肖燕青获国家专利权
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龙图腾网获悉山西华芯晶图科技有限公司申请的专利一种稳定夹持的碳化硅衬底用旋转式抛光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223989373U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520731787.2，技术领域涉及：B24B29/02；该实用新型一种稳定夹持的碳化硅衬底用旋转式抛光装置是由肖燕青;秦冒晓;刘建锋;冯斌;宋志远设计研发完成，并于2025-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种稳定夹持的碳化硅衬底用旋转式抛光装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种稳定夹持的碳化硅衬底用旋转式抛光装置，其涉及碳化硅衬底抛光技术领域，旨在解决现有的抛光装置在对原料固定时，容易造成原料侧边损坏，同时整体的加工效率有待提高的问题，其技术方案要点包括底座，所述底座的上端旋转安装有转盘，所述转盘的上表面上安装有多个吸附座，所述吸附座包含有连通座，所述连通座的上表面上粘连有橡胶盘，所述橡胶盘的上表面上一体连接有多个共中心点的圆环形凸条，所述连通座的上表面上以及橡胶盘的外表面上设置有多个位置对应的吸气孔，且吸气孔分布在相邻两个凸条的间隙处。达到了能稳定牢固的对原料吸附限位，避免对原料造成损坏，同时整体的加工效率高的效果。
本实用新型一种稳定夹持的碳化硅衬底用旋转式抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种稳定夹持的碳化硅衬底用旋转式抛光装置，包括底座1，其特征在于：所述底座1的上端旋转安装有转盘2，所述转盘2的上表面上安装有多个吸附座3，所述吸附座3包含有连通座20，所述连通座20的上表面上粘连有橡胶盘21，所述橡胶盘21的上表面上一体连接有多个共中心点的圆环形凸条22，所述连通座20的上表面上以及橡胶盘21的外表面上设置有多个位置对应的吸气孔，且吸气孔分布在相邻两个凸条22的间隙处，所述连通座20的出气端口处固定连接有抽气管18，所述抽气管18的管路中固定安装有抽气泵19。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人山西华芯晶图科技有限公司，其通讯地址为：030032 山西省太原市山西转型综合改革示范区唐槐产业园开元街6号1幢2层2051室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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