湖北迈科瑞科技有限公司关霞获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北迈科瑞科技有限公司申请的专利一种晶圆双面清洗用清洗机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223988825U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520199625.9,技术领域涉及:B08B3/04;该实用新型一种晶圆双面清洗用清洗机是由关霞;彭玲;王萍设计研发完成,并于2025-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆双面清洗用清洗机在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆双面清洗用清洗机,包括底座,所述底座正上方设置有对晶圆进行清洗的清洗箱,所述清洗箱底端固定安装有对清洗液进行储存箱,所述清洗箱内部设置有对晶圆进行清洗的清洗组件,所述清洗箱一端固设有安装底板,且安装底板顶端固定安装有驱动电机,所述清洗箱内部转动连接有主动转轴,且主动转轴贯通清洗箱与驱动电机转动连接,所述清洗箱内部设置有对杂质进行集中清理的清理组件;本实用新型通过清理组件能将杂质清扫至过滤网板两端的堆积槽处时,杂质会由于重力的作用掉落在堆积槽内部,在清洗完成时,工作人员打开锁紧门,便可快速的通过清理孔将堆积槽中堆积的杂质进行清理,增加工作人员快速清理杂质的效率。
本实用新型一种晶圆双面清洗用清洗机在权利要求书中公布了:1.一种晶圆双面清洗用清洗机,其特征在于,包括底座1,所述底座1正上方设置有对晶圆进行清洗的清洗箱2,所述清洗箱2底端固定安装有对清洗液进行储存的储存箱3,所述清洗箱2内部设置有对晶圆进行清洗的清洗组件4,所述清洗箱2一端固设有安装底板7,且安装底板7顶端固定安装有驱动电机6,所述清洗箱2内部转动连接有主动转轴8,且主动转轴8贯通清洗箱2与驱动电机6转动连接,所述清洗箱2内部设置有对杂质进行集中清理的清理组件5,所述清理组件5包括固定安装于清洗组件4与储存箱3中部的过滤网板56、对称开设于过滤网板56正上方的滑动槽51以及转动连接于滑动槽51内侧的调节丝杆52,所述调节丝杆52贯通清洗箱2与外部固定安装有从动皮带轮54,所述主动转轴8于清洗箱2外周与驱动电机6中部固定安装有主动皮带轮53,所述主动皮带轮53与从动皮带轮54中部设置有连接皮带55,所述清洗箱2内部滑动连接有与滑动槽51滑动且对过滤网板56表面杂质进行处理的连接板510,所述连接板510底端固定安装有清洁刷511,所述过滤网板56两端对称开设有对杂质进行堆积的堆积槽57,所述清洗箱2两端对称开设有与堆积槽57相通的清理孔58,且清理孔58一端转动连接有进行密封的锁紧门59。
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